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OG系列臭氧发生器采用电晕放电原理，产生高浓度臭氧气体。
应用：
CVD
ALD
氧化物生长
表面处理
湿刻
颗粒清洁
光阻去除
外延
技术规格：
最大臭氧产量：OG-5000-A 210g/hr OG-5000-B 150g/hr
氧气纯度要求：6个9或更高
氮气要求：5个9或更高
进气流量：0.5-20slpm
臭氧出口压力：15-40psi
运行环境温度：5-35度
冷却水温度：20+—3度
冷却水流量：1-1.2gpm at 60psi
冷却水品质：半导体级
