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在线气体质谱仪 HXTOF-50 系列
由新型高效电子轰击离子源与垂直引入式飞行时间质量分析器构成，采用双脉冲加速、双场反射、快信号检测、离子筛除及离子夹断等多项先进技术。
HXTOF-50 系列专注于气体成分定性和定量检测。
应用领域
过程监测
在线分析
污染物研究
环境气体分析
半导体及相关产品
残余气体或泄漏检测
产品特点
- 实时在线分析
- 简洁的真空系统—紧凑可靠
- 高度集成的自动控制系统—保证连续稳定运行
- 工艺及模块化设计—方便维护及更换
- 惰性毛细管直接进样
- 抗干扰能力强
先进的技术
- 高效的数据采集及处理技术
- 微秒级的响应时间
- 多成分同时检测—全谱图分析
性能指标
- 取样压力：104Pa 2×105Pa
- 分辨率：优于800（FWHM）
- 质量范围： 1～500amu
- 检测限：ppm量级
- 动态范围：3个数量级
- 质量精度：优于30ppm
- 电离能：5eV～100eV可调
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