干涉条纹解析软件
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核心参数

省空间
采用我社开发的压电控制器和笔记本电脑,大大节省了空间。

测定速度的提升
改善了图像数据的读取以及解析算法,加快了测定的速度。

可自动校准
配上3轴压电受台(选件),可实现干涉仪条纹设为0条纹的校准作业的自动化,可提高作业效率(球面测定时)。

解析软件的高机能化
更新为以自动校准机能为中心的解析软件,可对应更精细的需求。

数码变焦机能
用数码变焦可在1倍到3倍以每0.1的倍率设定,微小机件的确认也变得简单了。

2D、3D彩色图像显示
通过2D彩图的显示可确认波面相位以及横切面的形状。3D图像更能直观地显示波面的相位。

合格与否的判定机能
设定规格值,在生产线上可简单地进行合格与否的判定。而且可设定与客户定义像差相对应的规格值。

可定制画面
具有保存、读取画面排版状态的机能,可设定适合使用场所以及产品的排版。

主要用途:
· 评价镜片、平面光学部品研磨面的面精度
· 评价镜片、平面光学部品透过波面的定量
· 评价反射镜、硬盘、晶片、磁头等金属面的面精度评价 

规格 

解析方式 条纹扫描方式
测定条纹条件 正弦波状强度分布的干涉条纹
(不可进行多重干涉的干涉条纹解析)
干涉条纹显示图像尺寸 640×470(像素)
再现性 PV值:0.01λ(2δ)以下、
RMS值:0.003λ(2δ)以下
解析机能 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示
合格与否的判定 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示
3轴压电受台冲程(选件) 粗动:±3mm(XYZ的各轴)
微动:12μm(XYZ的各轴)
使用环境 水平无震动的场所
(地面震动±0.8/S2)以下
温度:23± 3℃
湿度:60%以下,无凝露

· 因测定时的设置环境不同,会发生机械性能不能充分发挥的时候,敬请原谅!
· 本装置不保证Traceability体系中的绝对精度。 

主画面
解析结果以2维图表以及3维鸟瞰图表示。在2维图表中可显示横切面的形状。而且各像差以及Zernike系数将以数值形式显示。如有设定规格值时,将会显示柱型统计图以及合格与否(○/×)。可在菜单中进行各种设定、数据的保存以及读取。
<解析结果显示技能>
· P-V、RMS、Pwr
· 赛德尔像差Tilt、Focus、像差AS、慧差Coma、球差Sa3
· 3维鸟瞰图、2维彩图
· 横切面侧面像(X、Y方向、PV、RMS)
· 合格与否判定结果
<文件输入输出机能>
· 工作参数的保存与读取
· 条纹数据的保存与读取
· 测定区域的保存和读取
· 画面版面的保存与读取
· 主窗口打印

测定结果保存
测定结果可作为条纹数据保存于文档中。且左右画面可作为文本形式复制至剪贴板,可粘贴到表计算软件。

测量区域设定画面
可同时设定四角形、圆形、多角形的多个测量区域。在不进行特殊形状设定时,亦可令程序按百分比自动圈划区域。
<测量区域机能>
· 特殊形状区域设定(四角形、圆形、多角形、自动圈划区域)
· 自动圈划设定

工作参数设定画面
可设定产品名等的属性,波长选择、Fitting次数选择、像差清除设定、表示单位选择、对Zernike系数的offset的设定、规格值设定、用户定义像差设定等的设定。
<工作参数设定机能>
· 产品名、单位名、注释
· Fitting次数(3/4/9/16/25/36)
· 像差清除(像差指定/Zernike系数指定)
· 显示单位(λ、μm、nm、条纹)
· 对Zernike系数的offset设定
· 规格值(指定各像差以及用户定义式)

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