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R51系列高安全性膜片式减压器，其结构采用多项安全设计，选用优质原材料制造，输出压力稳定，特别适用于强腐蚀性和剧毒想的气体介质。
结构特点：
单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封结构，并有二次密封保护
上盖带有多重密封保护和排放接口
母体接口：1/4" 面密封内螺纹
安全压力：1.5倍最大使用压力
输入压力：500 psi, 1500 psi, 3000 psi
输出压力：0~25 psi, 0~50 psi, 0~100 psi, 0~150 psi, 0~250 psi
适用温度：-40℃ ~ 74℃ (-40°F ~ 165°F)
泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
Cv 值：0.16
重量：1.54 kg (3.42 lbs)
材质
母体：316L (EP), 可选C22哈氏合金
阀座：PCTFE
膜片：C22哈氏合金
阀杆：C22哈氏合金
适用范围
半导体
太阳能
真空镀覆设备
特气制备
