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氮化硅薄膜膜厚标准物质 GBW13963

氮化硅薄膜膜厚标准物质 GBW13963

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货号:GBW13963

规格:1片

编号 名称 特性量 标准值(nm) 扩展不确定度(nm) (k=2) GBW13963 氮化硅薄膜膜厚标准物质 Si3N4层 160.1



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