Corial 等离子体增强化学气相沉积设备 D250L图片

本图片来自新耕(上海)贸易有限公司提供的Corial 等离子体增强化学气相沉积设备 D250L,型号为D250LCorial半导体行业专用仪器设备,产地为欧洲法国,属于品牌,参考价格为300万 - 400万,公司还可为用户供应高品质的TMC防震和减震系统FRT光学表面量测仪器等仪器。
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新耕(上海)贸易有限公司

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金牌18年

营业执照已认证

品牌性质: 一般经销商
厂商荣誉:

仪器核心参数

加热方式: 热壁
产地类别: 进口
应用领域: 半导体
沉积速率: 520nm/min
控制气体: SiH4、NH3、N2
沉积薄膜种类: SiO2、Si3N4、SiOF、SiOCH、SiC
背底真空: -300 to 50
工作气压: 0.2T to 2T
内部尺寸: 最大支持8寸晶圆
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