德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻图片

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德国海德堡

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白金4年

营业执照已认证

品牌性质: 一般经销商
厂商荣誉:

仪器核心参数

曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 5nm
光源: Diode laser with 405 nm or Krypton laser with 413 nm
光强均匀性: 60nm
曝光面积: 200 x 200 mm2 / 400 x 400 mm2
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