全自动原子层沉积系统(ALD)图片

本图片来自香港电子器材有限公司提供的全自动原子层沉积系统(ALD),型号为Savannah G2 ALD维易科半导体行业专用仪器设备,产地为美洲美国,属于品牌,参考价格为10万 - 50万,公司还可为用户供应高品质的PMMA电子束光刻胶Advantest-太赫兹光谱及成像系统等仪器。
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香港电子器材有限公司

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金牌12年

营业执照已认证

品牌性质: 一般经销商
厂商荣誉:

仪器核心参数

产地类别: 进口
衬底尺寸: S100: 可达100 mm / S200: 可达200 mm / S300: 可达300 mm
工艺温度: S100: RT - 400 °C / S200: RT - 350 °C / S300: RT - 350 °C
前驱体数: 可增加至6个
尺寸(W x H x D): S100: 585 x 560 x 980 mm / S200: 585 x 560 x 980 mm / S300: 686 x 560 x 980 mm
均匀性: Al2O3:<1% (1σ)
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