产品优势
徕科光学研发的LK-BY系列晶圆搬运机兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。徕科光学LK-BY系列晶圆搬运机拥有 LK-BY64、LK-BY86 两种机型,分别可适用于 4/6 英寸晶圆检测,6/8英寸晶圆检测,适应范围广、搭配灵活 。可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便。依靠着科技感和创新感双强的研发力量,可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案;具备内核稳定的售后方案,7*24小时响应,提供安装培训 一体化互动,更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务,已积累千万客户,并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。
产品图:
下图为现场安装、培训实景图:
下图为合作伙伴情况:
下图为服务站分布图:
产品介绍
360°宏观观察:
LK-BY系列具有宏观检查手臂,可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360° 旋转更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°,晶背 1 最大倾斜角度 90°,晶背 2最大倾斜角度 160°,利用旋转功能、倾斜角度,完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工 程学设计:
LCD 显示屏,可为 操作者提供更直观的视觉体验,可清晰的显示当前检查项目及次序,调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。
图例1:
图例2:
图例3
创新点:
徕科光学研发的LK-BY系列晶圆搬运机兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。徕科光学LK-BY系列晶圆搬运机拥有 LK-BY64、LK-BY86 两种机型,分别可适用于 4/6 英寸晶圆检测,6/8英寸晶圆检测,适应范围广、搭配灵活 。可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便。依靠着科技感和创新感双强的研发力量,可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案;具备内核稳定的售后方案,7*24小时响应,提供安装培训 一体化互动,更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务,已积累千万客户,并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。
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