电子行业厂房无尘车间环境技术要求——洁净度悬浮粒子检测方法

加野

2024/04/24 09:38

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电子行业是一个多元化的行业，包含新能源锂电、光伏、电路板、半导体、电子材料、电子产品等众多领域。近十多年来科学技术日新月异，对于新产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，同时对无尘净化技术的设计和发展提出了更高的要求。
由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，洁净生产车间环境监测指标应包括温度（℃）、湿度（%RH）、悬浮粒子、风速、压差、噪声、照度、静电、气态分子污染物等。
其中采用尘埃粒子计数器检测受控环境中悬浮粒子数量来验证洁净度等级是最关键的。粒子数量超出洁净度等级所允许的限值时，将造成受控环境的异常，导致洁净度等级降低，严重影响产品质量。

悬浮粒子测试方法：
1、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
2、检测前和检测后设备按照标准要求进行“清零”自净。

3、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。
4、采样口至粒子计数器的连接管应尽量短。

5、采样点一般离地面0.8-1.5m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，按照法规标准ISO14644及GB16292等内容中执行，最少采样点数目对应悬浮粒子采样点数，关键设备或关键工作活动范围处可增加测点。
6、按照ISO14644法规、GB25915法规、GB16292法规标准等内容进行测试，用户根据标准内的测试方法进行采样点数量、采样次数、每个点采样量（即计算采样时间）确认好相关要求，即可逐步进行粒子洁净度的监测，测试结果对照法规等级表进行确认是否合格。

粒子计数器引用标准如下：
《国际标准洁净室及相关受控环境》 ISO 14644-1:2015
《医药工业洁净厂房设计标准》 GB 50457
《食品工业洁净用房建筑技术规范》 GB50687
《洁净厂房设计规范》 GB 50073
《电子工业洁净厂房设计规范》 GB 50472
《医药工业悬浮悬浮粒子测试方法》 GB/T16292
《洁净室施工及验收规范》 GB 50591
《洁净室及相关受控环境》 GB 25915

国家标准洁净厂房洁净设计规范与国际标准 ISO 数据对照