一颗洋葱头
Rigaku SE携手Fraunhofer IISB在德国埃尔兰根共同运营的X射线形貌技术专业中心创建了一种新型半导体材料表征方法,不仅成功开发了适用于工业领域的X射线形貌系统,而且采用缺陷检测和量化算法,实现了独特的碳化硅(SiC)材料表征方法。
日前,领导该开发工作的三位科学家——Fraunhofer IISB的Christian Kranert博士和Christian Reimann博士以及Rigaku Europe SE总裁Michael Hippler博士荣获微电子促进协会(Förderkreis für die Mikroelektronik e.V.)授予的2023年Georg Waeber创新奖。
Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科学家荣获2023年Georg Waeber创新奖
(Georg Waeber创新奖每年颁发一次,以表彰杰出的科学成就,着重强调微电子知识的进步及其在产业中的实际应用。2023年10月25日,Michael Hippler、Christian Reimann、Christian Kranert获得此奖项,该仪式于埃尔兰根Fraunhofer IISB举行。)
2021年,RigakuSE和Fraunhofer IISB在德国埃尔兰根建立了X射线形貌技术专业中心,旨在通过使用Rigaku XRTmicron先进的X射线形貌设备帮助半导体行业改进和更好地了解晶圆质量和产量。在这里,该联合团队开发了一种无损、强大、可靠、高通量的新型检测方法,可以快速检测SiC衬底中所有相关的晶体缺陷。
迄今为止,在制造SiC电子器件的早期阶段,特别是在衬底或晶体(通常称为“圆盘”)层面,还没有适用产业的计量方法。这项创新方法提供了一款采用缺陷检测和量化算法的X射线形貌系统,无需因为表征而对半导体衬底进行破坏性缺陷蚀刻和弃置。
Rigaku SE不到两年就成功建立了新业务,很好地体现出了这项创新的成功之处。现阶段,Rigaku SE总部位于日本,并已成为全球领先的供应商,其X射线形貌工具可用于制造SiC衬底及器件。微电子促进协会由工业公司、两家Fraunhofer研究所、埃尔朗根-纽伦堡大学的四位主席、纽伦堡工商会组成,其主要目标是促进科学与产业之间的顺利交流,Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科学家获得Georg Waeber创新奖更加印证了这一点。
[来源:仪器信息网译] 未经授权不得转载
2023.09.22
2023.12.11
2024.08.25
仪器情报,科学家首次在扭曲双三层CrI3材料中取得最新发现!
2024.08.25
2024.08.25
2024.08.25
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~