工科生一枚,努力学习ing
薄膜,通常是指形成于基底之上、厚度在一微米或几微米以下的固态材料。薄膜材料广泛应用于不同的工业领域,譬如半导体、光学器件、汽车、新能源等诸多行业。沉积工艺是决定薄膜成分和结构的关键,最终影响薄膜的物性;对薄膜成分、厚度、微结构、取向等关键参数进行测量可以为薄膜沉积工艺的调整和优化提供依据,改善薄膜材料性能。
马尔文帕纳科的X射线衍射(XRD)和X射线荧光光谱(XRF)分析设备,可以对不同类型的薄膜材料进行表征。从1954年飞利浦第一台用于薄膜分析的X射线衍射仪诞生以来,马尔文帕纳科X射线分析技术应用于半导体薄膜材料测量已有非常悠久的历史。无论是针对单晶外延、多晶薄膜、非晶薄膜都有对应的专业分析解决方案,利用对称衍射、非对称衍射、反射率、摇摆曲线、双周扫描、倒易空间Mapping和正空间Mapping等测量方式,表征薄膜材料的厚度和超晶格周期、应力和弛豫;失配和成分;曲率半径;衬底材料取向;组分分析等等。马尔文帕纳科新推出的衍射超净间系统套件,搭配自动加载装置,可在1分钟内评估面内缺陷,最大程度降低生产成本,提高检测效率。此外,马尔文帕纳科全自动XRF晶圆分析仪,可以快速分析晶片或器件多层膜的成分及厚度,具有非常稳健的工作方式且符合超净间环境要求,在晶圆厂圆晶质量在线控制的环节倍受认可。(更多解决方案详见活动专题)
基于此,马尔文帕纳科联合仪器信息网将于10月14日举办微观丈量▪“膜”力无限——X 射线分析技术应用于薄膜测量主题活动,特邀高校资深应用专家及马尔文帕纳科技术专家分享薄膜表征技术与应用干货,全面展示马尔文帕纳科针对薄膜材料测量的解决方案。此外,活动直播间还特别设置了答疑及抽奖多轮福利环节。
专题页面:https://www.instrument.com.cn/topic/malvernpanalytical.html
活动日程:
时间 |
环节 |
嘉宾 |
14:00-14:10 |
开场致词,公司介绍与薄膜应用概述 |
程伟 马尔文帕纳科 先进材料行业销售经理 |
14:10-14:50 |
X射线衍射仪在纳米多层薄膜表征中的应用 |
朱京涛 同济大学 教授 |
14:50-15:00 |
答疑 & 第一轮抽奖 |
定制马尔文帕纳科公仔一对 |
15:00-15:30 |
多晶薄膜应力和织构分析 |
王林 马尔文帕纳科 中国区XRD产品经理 |
15:30-15:40 |
答疑 & 第二轮抽奖 |
定制午睡枕 |
15:40-16:25 |
X射线衍射及X射线荧光分析技术在半导体薄膜领域的应用 |
钟明光 马尔文帕纳科 亚太区半导体销售经理 |
16:25-16:35 |
答疑 |
|
16:35-16:55 |
X射线荧光光谱在涂层镀层分析中的应用 |
熊佳星 马尔文帕纳科 中国区XRF产品经理 |
16:55-17:00 |
答疑 & 第三轮抽奖&结束语 |
倍思车载无线充电器 |
活动直播间,同济大学朱景涛教授将分享X衍射仪在纳米多层薄膜表征中的应用,主要采用掠入射X射线反射、X射线衍射、X射线面内散射等测试方法,表征周期、非周期、梯度多层膜,以及膜层厚度、界面宽度、薄膜均匀性、结晶特性、粗糙度等信息;马尔文帕纳科中国区XRD产品经理王林将分享X射线衍射法测量多晶薄膜的残余应力和织构分析方法;马尔文帕纳科亚太区半导体销售经理钟明光将展示马尔文帕纳科在半导体薄膜领域的专业分析解决方案;马尔文帕纳科中国区XRF产品经理熊佳星将分享X射线荧光光谱在涂层镀层无损分析中的应用。
扫码免费报名抢位
点击下方专题页面,详细了解马尔文帕纳科X射线薄膜测量技术沿革及相关产品。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
2022.09.22
2022.09.01
2020.12.15
马尔文帕纳科2.6亿美元收购SciAps,融合手持LIBS与XRF技术
2024.07.19
目标诺奖还是扎根应用?——走近北大教授的“非典型人生” |仪器追梦人第四期
2024.04.09
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~