在半导体行业芯片的生产过程中,环境的洁净程度直接关乎产品的良品率。空气中的分子污染物(AMC)是半导体生产工艺中最重要的化学污染之一,其中酸性物质(MA)、碱性物质(MB)是AMC污染物的重要组成部分,直接影响产品质量。
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洁净室AMC中酸碱性污染物的监测主要是通过离子色谱分析仪,结合人工采样、超纯水吸收法等前处理过程。此监测分析过程繁琐低效,并可能引入人工污染的风险,导致监测数据结果偏差。
FAAS 8000ICS在线离子色谱分析系统 应用于半导体厂区气态分子污染物(AMC)中酸性物质(MA)、碱性物质(MB)污染物的在线监测系统。系统采用撞击式气体吸收技术结合离子色谱分析方法,实现了多点采样、气体自动吸收富集、在线质量控制等全自动在线监测功能,解决了洁净室AMC监测过程中人员投入大、数据监测频率低、数据反馈不及时等问题。
性能特点
自控程度高
FAAS 8000ICS 实现了自动远距离采样、自动富集吸收、 自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流程自动化。避免人工误差引入,数据准确可靠。
检测能力强
大体积进样浓缩,大幅提高系统检测能力,检出限可达亚ppt级,缩短系统运行周期。
监测范围广
单套系统最多可配置32个点位的样品采集;
系统通过真空泵远距离采样,可覆盖300m范围内样品的在线监测。
系统本底低
系统管路及阀组采用洁净的聚四氟乙烯材料设计,满足SEMI F57中相关析出杂质的低本底控制要求。
吸收效率高
在线双吸收模块设计,提高样品吸收效率,缩短系统运行周期。
[来源:杭州谱育科技发展有限公司]
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