项目编号:0773-2240SHHW0019
项目名称:华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目
预算金额:663.0789000 万元(人民币)
最高限价(如有):663.0789000 万元(人民币)
采购需求:
项目名称:华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目
包件1:反应离子束刻蚀系统;
数量及单位:1台;
简要技术参数:
3、等离子体源
3.1、射频发生器:最大功率300瓦,13.56MHz,带自动匹配单元;
★3.2、ICP源发生器:最大功率3000瓦,2.0MHz,带自动匹配单元;
包件2:感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统;
数量及单位:1台;
简要技术参数:
★1、SiO2的标准沉积速率:≥40 nm/min;高速沉积速率:≥500 nm/min
2、SiO2薄膜沉积厚度:≥6um。
其余详见本项目招标文件。
合同履行期限:自合同签订之日起250天内;
本项目( 不接受 )联合体投标。
[来源:中国政府采购网]
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