易被忽视的重要技术：关于原子力显微镜样品制备技术的反思

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分享： 2021/08/17 10:26:10

导读：正是因为缺乏试样制备的技术，原子力显微镜技术在揭示试样纳米尺度的本征性能这一核心应用目标上落后于其他显微镜技术。

基于探针，电子束和光谱的成像技术在近二十年都取得了变革性的进展。技术进展主要聚焦在显微镜核心技术本身。以原子力显微镜为例，对于技术进展的关注侧重于成像模式，成像速度以及物理，化学测量的关联成像等，往往不包括试样制备因素。

2021年8月18日，中国科学院沈阳自动化所苏全民研究员将在仪器信息网主办的“第三届原子力显微镜”主题网络研讨会中，线上为大家分享“试样制备在显微镜技术中的使能作用—关于原子力显微镜技术的反思”。

图自Hui, F., Lanza, M.*, “Scanning probe microscopy for advanced nanoelectronics”, Nature Electronics 2, 221-229 (2019)

本次报告，苏全民研究员将聚焦于各种显微镜试样制备技术的对比，并以一些试样制备为使能的技术革命为例来阐述其作用。在原子力显微镜领域中，一个普遍认识是试样无须特殊处理和制备。在适当成像模式和探针控制条件下，原子力显微镜成像的结果便是试样纳米尺度本征物性的表征。

报告将力图证明正是因为缺乏试样制备的技术，原子力显微镜技术在揭示试样纳米尺度的本征性能这一核心应用目标上落后于其他显微镜技术。作为纳米尺度3维形貌的工具，原子力显微镜成功的成为其他技术的标定标准。AFM试样无须特殊制备就能够定量表征试样的本征几何形貌。但在使用AFM进行纳米物性测量时, 无论探针和试样的表面吸附，表面畸变层等都有可能导致探针相互作用的复杂化，产生非本征作用。在许多应用中，非本征作用的贡献可能大于试样本征物理和化学性能的贡献。报告将进一步分析 “非本征作用” 的物理机制，进而探讨试样制备和环境控制的重要性并展望如何通过试样制备更好的揭示各类试样纳米尺度的本征物性，使试样制备在原子力显微镜领域中也起到使能作用。

报告时间：2021年8月18日上午10:00--10:30

即刻报名占座：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/AFM2021/

报告人简介

苏全民，国家特聘专家，纳米定位和测量国家标准专家组成员，全国显微镜协会理事，于2017年全职回国，现为中国科学院自动化研究所研究员和天津大学兼职教授。回国前为美国布鲁克公司高级技术总监，领导原子力显微镜（AFM）技术和系统的研发。苏全民是53 项美国授权专利的发明人，领导布鲁克原子力显微镜的技术和产品开发，曾获 R&D 100（2002）和 Microscopy Today（2012）年度最佳产品奖。苏全民发表了80多篇论文；并组织了“Seeing at the Nanoscale”系列国际会议，担任过各种国际会议的分会主席，如MRS ， M&M， AVS等，并在多个国际会议（IEEE, MRS，M&M，AVS等）做过大会，分会和专题特邀报告。