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本着为国内客户提供高端的X射线/SXR/EUV产品及解决方案的想法，众星联恒再一次提高了我们的解决方案提供能力。经过长期的调研及深刻的讨论后，众星联恒与德国SIRIUS公司正式签署了代理协议，成为了SIRIUS在中国区的授权代理。
Sirius公司成立于2015年，是一家材料科学和半导体行业X射线分析解决方案的提供商。作为一家独立的仪器集成商，Sirius不仅向同步辐射用户提供薄膜，表面和原位表征的完整实验室解决方案，还提供X射线半导体计量解决方案以及X射线衍射分析服务。
Sirius可提供的解决方案：
1. 实验室解决方案
此套分析仪器集成了Huber的衍射系统和Eulerian CRADLE、及光子计数像素化X射线探测器。
-可以在Linux操作系统或Windows 10上操作此实验室仪器。
-该X射线衍射系统是为同步辐射用户量身定制的。
-同步辐射实验前测试和教学
2. 定制解决方案
实验室表面衍射系统
-软件和硬件集成了最新的2D探测器和X射线技术
-微区衍射
-原位层生长的快速定性分析
-平面x射线衍射
多用途的薄膜分析装置，从亚纳米厚度到毫米的小样品
-高分辨X射线衍射
-平面X射线表面衍射
-掠入射荧光/ 反射率
用于四圆x射线衍射的Eulerial Cradle
-结晶薄膜和大块样品
-晶圆mapping可达200mm
-倒易空间图
-织构 / 应力
3. X射线半导体计量系统
专门用于研发实验室或中试线的X射线半导体计量学实验室设备，特别是化合物半导体，MEMS，高功率器件和后端工艺。
-通过XRR, HRXRD和RSM, GID，晶圆Mapping进行薄膜计量。
-样品台可支持大至200mm的晶圆或200mm x 200mm的刚性/柔性样品。
-自动化测量和分析。
-最先进的专有分析和测量软件。
-设备尺寸：1.2m x 1.3m x 2.1m
X射线薄膜分析是一种确定膜厚，结构参数，组成和应变的成熟技术。膜厚度范围可以从亚纳米到毫米。根据不同薄膜类型，将使用不同的X射线技术以确定感兴趣的参数。
此前，众星联恒在系统集成方面提出了自主品牌桌面超快X射线诊断装置，如今Sirius的解决方案将会是我们在系统方案方面的有力补充。作为高端X射线组件及解决方案提供商，众星联恒将持续携手来自全球的高科技领域合作伙伴，为中国广大科研用户提供更加专业的服务和本地技术支持。
[来源：北京众星联恒科技有限公司]
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