中科院微电子所2021年3-12月半导体仪器设备采购意向：预算2亿元

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#2021仪器采购意向盘点

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分享： 2021/01/29 17:07:18

导读：主要为半导体科研相关仪器设备，包含等离子体表面处理设备、AMCAD高压脉冲测试系统、晶圆平整度全检仪、毫米波FMR测试仪、光波元器件分析仪、线宽量测仪、套刻偏差量测仪等。

仪器信息网讯1月20日，中国科学院微电子研究所公开2021年3至12月政府采购意向，本次意向共涉及采购意向48项，主要为半导体科研相关仪器设备，包含X射线拉曼光谱仪晶体阵列调节机构、等离子体表面处理设备、AMCAD高压脉冲测试系统、晶圆平整度全检仪、毫米波FMR测试仪、光波元器件分析仪、线宽量测仪、套刻偏差量测仪等，总采购预算2.07亿元，预计采购日期分布在2021年2至10月。

详细意向信息表如下：

序号	采购项目名称	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期
序号	采购项目名称	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期
1	HPGe研制-离子注入机	A02062002电气物理设备	详见项目详情	350	2021年6月
2	流体PIV测试系统	A02100402物理特性分析仪器及校准仪器	详见项目详情	200	2021年4月
3	LMS模态测试系统	A02100402物理特性分析仪器及校准仪器	详见项目详情	200	2021年4月
4	纳米操控台	A02100699其他试验仪器及装置	详见项目详情	300	2021年8月
5	主动隔振台	A02100699其他试验仪器及装置	详见项目详情	200	2021年8月
6	超快探测器	A02100404光学式分析仪器	详见项目详情	100	2021年9月
7	劳厄谱仪	A02100304光学测试仪器	详见项目详情	173	2021年3月
8	有机分子散射腔	A02100405射线式分析仪器	详见项目详情	300	2021年2月
9	激光干涉仪	A02100304光学测试仪器	详见项目详情	150	2021年3月
10	光束线反射镜	A02100313透镜、棱镜、反射镜	详见项目详情	400	2021年5月
11	多维样品台	A02100699其他试验仪器及装置	详见项目详情	160	2021年3月
12	波带片聚焦系统	A02100399其他光学仪器	详见项目详情	250	2021年2月
13	多层膜KB镜	A02100313透镜、棱镜、反射镜	详见项目详情	170	2021年5月
14	真空低温样品传输系统	A02062002电气物理设备	详见项目详情	150	2021年3月
15	TOF中子闪烁体探测器	A02100404光学式分析仪器	详见项目详情	200	2021年2月
16	100KN测试机	A02100501金属材料试验机,A02100602动力测试仪器	详见项目详情	110	2021年2月
17	液氮循环机组	A02062002电气物理设备	详见项目详情	110	2021年3月
18	3D打印机	A0201060199其他打印设备	详见项目详情	800	2021年5月
19	二期束线第三批安全光闸	A02100399其他光学仪器	详见项目详情	200	2021年3月
20	液氮循环机组国产化	A02062002电气物理设备	详见项目详情	140	2021年5月
21	2圆机械手式衍射仪机构	A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	250	2021年2月
22	超高稳定K-B镜机构	A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	215	2021年9月
23	高负荷探测器空间运动机器人	A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	300	2021年9月
24	HPGe研制-磁控溅射机	A02052499其他真空获得及应设备	详见项目详情	150	2021年6月
25	HPGe研制-电子束镀膜机	A02052499其他真空获得及应设备	详见项目详情	100	2021年6月
26	X射线拉曼光谱仪晶体阵列调节机构	A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	150	2021年2月
27	Von Hamos光谱仪调节结构以及真空腔体	A02052499其他真空获得及应设备	详见项目详情	200	2021年5月
28	微聚焦X射线源	A02100399其他光学仪器	详见项目详情	300	2021年5月
29	固液环境XPS系统	A033413核子及核辐射测量仪器	详见项目详情	300	2021年8月
30	36元高纯锗固体探测器及其电子学系统	A02100402物理特性分析仪器及校准仪器	详见项目详情	576	2021年2月
31	光学平台及位移台	A02100699其他试验仪器及装置	详见项目详情	200	2021年3月
32	泵	A02051907 真空泵	详见项目详情	250	2021年3月
33	阀门	A060809阀门	详见项目详情	210	2021年3月
34	全闪存NAS集群	A0201020605集群控制器	详见项目详情	250	2021年5月
35	HPGe-高速电子学	A02062002电气物理设备	详见项目详情	150	2021年2月
36	大面积探测器	A02100404光学式分析仪器	详见项目详情	270	2021年2月
37	双束聚焦离子束系统	A02100305电子光学及离子光学仪器	详见项目详情	1020	2021年2月
38	上海光源同步辐射科学大数据管理服务系统	A0201080102数据库管理系统	详见项目详情	150	2021年2月
39	多路激光测量交会系统	A021099其他仪器仪表	详见项目详情	680	2021年3月
40	高速高分辨率磁场相机	A02100399其他光学仪器	详见项目详情	100	2021年4月
41	高精度三维点测量系统	A021099其他仪器仪表	详见项目详情	220	2021年4月
42	C波段50MW速调管及附件	A02062002电气物理设备,A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	360	2021年2月
43	110MW调制器脉冲电源和辅助电源	A02061599其他电源设备	详见项目详情	140	2021年2月
44	高压充电电源	A02061599其他电源设备	详见项目详情	210	2021年2月
45	C波段加速管	A02062099其他电气机械设备	详见项目详情	160	2021年4月
46	真空波荡器	A02062002电气物理设备	详见项目详情	500	2021年3月
47	移相器	A02060110移相器	详见项目详情	100	2021年3月