瑞柯发布瑞柯全自动四探针测试仪新品

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分享： 2020/11/20 11:11:27

导读：近日，宁波瑞柯伟业仪器有限公司在仪器信息网发布瑞柯全自动四探针测试仪新品

瑞柯全自动四探针测试仪

FT-3110系列全自动四探针测试仪

一.功能描述：

四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.

FT-3110系列全自动四探针测试仪

二.适用范围

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

FT-3110系列全自动四探针测试仪

三.技术参数：

规格型号	FT-3110A	FT-3110B
1.电阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方块电阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.电阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.测试电流	0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.电流精度	±0.1%
6.电阻精度	≤0.3%
7.PC软件操作	PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、2D、3D图谱、压力、报表生成等
8.压力范围：	探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调
9.探针	针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制
10.可测晶片尺寸选购	晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式	单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
12.加压方式	测量重复性：重复性≤3%
13.安全防护	具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.测试环境	真空
15.电源	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<100W
16.选购项目	电脑和打印机