专为超大纳米平板扫描器测量而设计的自动化原子力显微镜系统
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加,Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合,克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。
Park NX-TSH能获得关于表面粗糙度,台阶高度,关键尺寸和侧壁信息的高分辨率图像和数据,从而为大型纳米级尺寸样品测量提供完美解决方案。
• 可灵活掌握自动,半自动和手动模式
• 为每个自动化程序提供可编辑测量方法
• 实时监控测量过程
• 自动分析获取测量数据
- 自动换针器(ATX)
ATX通过模式识别自动定位探针,并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。
-电离系统可提供更稳定的扫描环境
Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡,因此可以创建一个极其稳定的电荷环境,几乎不污染周围区域,并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至最低。
Park NX-TSH技术参数:
*本技术参数是可定制的。可咨询Park原子力显微镜,以获取更多信息。
系统技术参数:
样品尺寸: 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg
电动式X方向载物台:行程可达625 mm,±3 μm分辨率
电动式Y方向载物台:行程可达525 mm,±3 μm分辨率
电动式Z方向载物台:Z轴移动距离为25 mm,0.08 μm分辨率,重复性<1μm
电动式对焦台:Z轴行进光学距离为9 mm
COGNEX图案识别:图案校对分辨率为1/4像素
扫描器性能:
XY扫描范围:100μm×100μm
XY分辨率:0.15nm
Z扫描范围:15 μm
Z分辨率:0.016nm
AFM和XY移动平台控制器
ADC:18个频道,4个高速通道,X,Y和Z位置传感器(24-位ADC)
DAC: 12个频道,2个高速DAC通道,X,Y和Z的定位(20-bitDAC)
合规
CE认证:SEMI S2 /S8标准
设施要求
待机室温:10°C?40°C
工作室温:18°C?24°C
湿度:30%至60%(不凝结)
地板振动要求:VC-E(3微米/秒)
噪音:低于65 dB
气动式:真空度:-80 kPa
CDA(或N2):0.7 Mpa
电源额定值:208V-240 V,单相,17 A(最大)
总耗电量:咨询Park原子力显微镜
接地电阻:低于100欧姆
创新点:
1. ParkNX-TSH专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计,最大样品尺寸可以测2200 mm。 2.专为PLED,LCD和其他大样品分析而设计 3. Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸,Park NX-TSH(龙门架设计平板式探针扫描器)可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
2024.08.19
2024.07.24
2024年上半年红外热成像新品盘点:国产近八成 以应用驱动产品发展
2024.07.24
2024.07.11
再获国家财政支持!工信部公示:艾睿光电荣登专精特新“小巨人”企业名单
2024.07.08
2024.06.12
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~