在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。
应力双折射测量仪主要特点:
操作简单,测量速度可以快到3秒。
视野范围内可一次测量,测量范围广。
更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。
具有多种分析功能和测量结果的比较。
维护简单,不含旋转光学滤片的机构。
高达2056x2464像素的偏振相机。
SIC
蓝宝石
项次 | 项目 | 具体参数 |
1 | 输出项目 | 相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】 |
2 | 测量波长 | 520nm |
3 | 双折射测量范围 | 0-130nm |
4 | 测量最小分辨率 | 0.001nm |
5 | 测量重复精度 | <1nm(西格玛) |
6 | 视野尺寸 | 40x48mm到240x320mm(标准) |
7 | 选配镜头视野 | 不适用 |
8 | 选配功能 | 实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制 |
创新点:
测量速度可以快到3秒。 更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。 具有多种分析功能和测量结果的比较。 维护简单,不含旋转光学滤片的机构。 高达2056x2464像素的偏振相机。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
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