图1 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685
图2 普通制样及氩离子抛光制样观察减反膜(a普通制样;b PECS II 685制样)
图3 PECS II 685制备TiO2/SiO2交替膜
[来源:北京欧波同光学技术有限公司]
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