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半导体设备可分为晶圆处理设备、封装设备、测试设备和其他设备,其他设备包括硅片制造设备、洁静设备、光罩等。这些设备分别对应集成电路制造、封装、测试和硅片制造等工序。
在整个半导体设备市场中,晶圆制造设备大约占整体的80%,封装及组装设备大约占 7%,测试设备大约占9%,其他设备大约占 4%。而在晶圆制造设备中,光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备为核心设备,分别占晶圆制造环节设备成本的30%、25%、25%。
仪器信息网结合美国的半导体行业调查公司VLSI Research发布的2019年全球半导体设备厂商的销售额排名,对半导体设备厂商进行了简要梳理。
第一名 美国 应用材料公司 2019年销售额(速报值)134.68亿美元
应用材料公司创立于1967年,总部位于美国加利福尼亚硅谷。目前应用材料公司是全球最大的半导体生产设备公司,十几年来在半导体生产设备领域独占鳌头。
公司主要产品为芯片制造相关类产品,包括原子层沉积ALD、物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD、刻蚀ETCH、离子注入、快速热处理RTP、化学机械抛光CMP、电镀、测量和硅片检测等。
第二名 荷兰 ASML 2019年2019年销售额(速报值)127.7亿美元
ASML成立于1984年,是全球最顶级的光刻机生产商,总部位于荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven),客户包括了英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等。目前,光刻机市场占据了最高的市场份额,在浸没式光刻机中市场中也占有绝对地位,主要竞争对手对尼康、佳能等。ASML专注于研发组装技术,其90%的零部件源于全球采购。
第三名 日本 东京电子 2019年销售额(速报值)95.52亿美元
东京电子是日本最大的半导体制造设备提供商,也是世界第三大半导体制造设备提供商,主要从事半导体制造设备和平板显示器制造设备的研发和生产。东京电子的主要产品包括:涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、CVD、湿法清洗设备及测试设备。尤其是在涂布设备和刻蚀机设备中均占据了极高的市场份额。
第四名 美国 Lam Research 2019年销售额(速报值)95.49亿美元
Lam Research致力于制造集成电路制造中使用的设备,主要用于前端晶圆处理,在薄膜沉积、等离子刻蚀、光阻去除、晶片清洗等前道工艺方案、后道晶圆级封装以及MEMS等均有涉及。
Lam Research的三大核心产品是:刻蚀设备、沉积设备,以及去光阻和清洗设备。Lam Research的主力产品为刻蚀设备,电浆刻蚀设备以及等离子刻蚀和单晶圆清洗技术的市场份额较为领先。
第五名 美国 KLA-Tencor 2019年销售额(速报值)46.65亿美元
KLA-Tencor成立于1976年,是一家美国制造公司,公司总部位于加州Milpitas。公司产品用于晶圆制造、光罩制造、太阳能工艺开发和控制、发光二极管和数据存储制造等,提供工艺控制与良率管理产品。KLA-Tencor于1997年4月由两家半导体设备行业公司KLA仪器公司和Tencor仪器公司兼并而来。KLA早先专注于缺陷检测,Tencor专注于量测解决方案,合并后的KLA-Tencor已经在专注的检测与量测领域拥有70%以上的市场占有率。
第六名 日本 爱德万测试 2019年销售额(速报值)24.70亿美元
爱德万测试公司(Advantest,ATE)是日本一家为半导体工业提供自动测试设备的制造商,总部位于东京,是全球半导体产业最大自动化测试设备 (ATE) 供应商。
作为全球领先的半导体测试设备供应商,爱德万测试业务主要覆盖在半导体测试、电子测量、机电一体化系统。爱德万测试一直致力于集成电路测试技术的开发,拥有种类完善的半导体后道测试台。在储存测试细分市场领域,爱德万长期位居全球首位。
第七名 日本 SCREEN 2019年销售额(速报值)22亿美元
SCREEN主要生产半导体晶圆设备,包含洗净、蚀刻、显影/涂布等产品,其中洗净设备市场占有率极高。据国泰君安的统计,在主要的三种清洗设备市场中,SCREEN市场占有率均排名第一。在单晶圆清洗设备市场,SCREEN市场占有率高达54.9%;自动清洗台市场技术门槛相对较低,市场参与者较多,SCREEN市场占有率仍达到了50%以上;而在洗刷机市场SCREEN也有着60%-70%的市场占有率。
第八名 美国 Teradyne 2019年销售额(速报值)15.53亿美元
泰瑞达是全球著名的自动测试设备供应商,2019年公司的测试台市占率全球居首,是SoC测试台的绝对龙头。泰瑞达营收多年居于后道检测设备行业榜首。
第九名 日本 日立高新 2019年销售额(速报值)15.33亿美元
日立高新在半导体设备方面主要生产沉积、刻蚀、检测设备,以及封装贴片设备等,在SEM测长等方面的设备中占有优势,日立高新所提供的半导体制造设备主要有干蚀刻系统、CD-SEM和缺陷检查。
第十名 荷兰 ASM International 2019年销售额(速报值)12.61亿美元
ASM International是晶圆加工半导体加工设备的领先供应商。ASM International率先在工业上使用了许多成熟的晶圆加工技术,包括光刻,沉积,离子注入和单晶圆外延。近年来,ASMi将原子层沉积(ALD)和等离子增强原子层沉积(PEALD)从研发一直带到了先进制造商站点的主流生产。
第十一名 日本 Nikon 2019年销售额(速报值)12亿美元
尼康成立于1917年,最早通过相机和光学技术发家,1986年推出第一款FPD曝光设备,如今业务线覆盖范围广泛。
第十二名 日本 Kokusai Electric 2019年销售额(速报值)11.37亿美元
2019年7月,据彭博社报道,美国应用材料同意以约2500亿日元(合22亿美元)的价格从KKR&Co手中收购Kokusai Electric。Kokusai Electric将作为Applied公司半导体产品部门的业务部门运作,并将继续将总部设在东京。Kokusai专注于批处理或并行处理许多晶圆,特别是对于存储晶圆。据介绍,其主要客户包括三星电子公司,台湾半导体制造公司和英特尔公司。
第十三名 日本 Daifuku 2019年销售额(速报值)11.07亿美元
Daifuku的洁净室存储、搬运系统被广泛应用于半导体、液晶等平板显示器制造行业,在许多世界著名企业均有销售。
第十四名 新加坡 ASM Pacific Technology 2019年销售额(速报值)8.94亿美元
ASMPT是用于晶片组装和封装以及表面安装技术的半导体工艺设备的领先供应商,为电子制造过程中所有主要步骤提供高质量设备,这些设备从用于芯片互连的载体到芯片组装和封装再到SMT。
第十五名 日本 Canon(佳能) 2019年销售额(速报值)6.92亿美元
在FPD曝光设备领域,尼康和佳能两家日本厂商占据主要地位,两家也在不断抢食FPD设备市场。据了解,佳能在生产电视机显示屏方向的大型面板的曝光设备方面实力雄厚,而尼康的曝光设备则在用于智能手机显示屏的中小型面板方面更具有优势。
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