NS3500三维激光共聚焦显微镜
NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨率非破坏性光学三维测量
实时共焦成像
多种光学变焦
同时进行亮场和共焦成像
自动获取最佳聚焦位置
倾斜补偿
简易分析模块
精确可靠的高速高度测量
通过半透明基板检测特征
无样品准备
大范围图像拼接检测
Software(软件):
Image stitching(图像拼接):
对于大范围的检测,可使用自动XY平台和NS-3500图像拼接软件NSMosaic对预测的区域进行连续测量和图像拼接。拼接后的图像可以作为一个单一的测量结果进行分析。
Application field(应用领域):
NS-3500是测量高度、宽度、角度、面积和体积的一种有效的解决方案,例如:
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
Specifications:
Model |
Microscope NS-3500 |
备注 |
|||||
Controller NS-3500E |
|||||||
物镜倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
150x |
||
观察/ 测量范围 |
水平(H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
垂直(V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
||
工作范围: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
||
数值孔径(N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
||
光学变焦 |
x1 to x6 |
||||||
总放大倍率 |
178x to 26700x |
||||||
观察/测量光学系统 |
针孔共聚焦光学系统 |
||||||
高度测量 |
测量扫描范围 |
精细扫描: 400 μm (and/or)长扫描: 10 mm [NS-3500-S] |
注1 |
||||
长扫描: 10mm [NS-3500-T] |
|||||||
显示分辨率 |
0.001 μm |
||||||
重复率σ |
0.010 μm |
注2 |
|||||
宽度测量 |
显示分辨率 |
0.001 μm |
|||||
重复率3σ |
0.02 μm |
注3 |
|||||
帧记忆 |
像素 |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
|||||
单色图像 |
12 bit |
||||||
彩色图像 |
8-bit for RGB each |
||||||
高度测量 |
16 bit |
||||||
帧速率 |
表面扫描 |
20 Hz to 160 Hz |
|||||
线扫描 |
~8 kHz |
||||||
自动功能 |
自动对焦 |
||||||
激光共焦测量光源 |
波长 |
紫光激光, 405nm |
|||||
输出 |
~2mW |
||||||
激光等级 |
Class 3b |
||||||
激光接收元件 |
PMT (光电倍增管) |
||||||
光学观察光源 |
灯 |
10W LED |
|||||
光学观察照相机 |
成像元件 |
1/2”彩色图像CCD传感器 |
|||||
记录分辨率 |
640x480 |
||||||
自动调整 |
增益,快门速度, White balance |
||||||
数据处理单元 |
专用PC |
||||||
电源 |
电源电压 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
|||||
电流消耗 |
500 VA max. |
||||||
重量 |
显微镜 |
Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
|||||
控制器 |
~8 kg |
||||||
隔振系统 |
有源隔离器 |
Option |
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。
注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。
注3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。
创新点:
NS-3500新增快速光学扫描模块和信号处理算法来实现实时共焦显微图像。增加设备稳定性及快速测量的能力。在测量和检测微观三维结构如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
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