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如今,许多研究人员需要利用电子显微镜快速获得样本的化学组分,而这其中不少人的研究对象是电子束敏感材料,这使得获得所需的数据相当困难。日前,赛默飞推出的新型双X射线能谱仪为解决这些难题带来了福音。
为帮助研究人员在低束流条件下更快速地获得各类型样品(包括电子束敏感材料)的二维和三维化学信息,赛默飞在Talos F200i扫描透射电镜(S/TEM)中加装了一对对称设计的100 mm2 Racetrack能谱仪(双X射线)。这一更新突破了使用非对称EDS难以获得有效定量数据的瓶颈,并能让科研工作者以最快的方式在(亚)纳米尺度对材料进行表征。
据介绍,双X射线能谱仪有着迄今最强的分析能力,这让X射线能谱分析较之以往用时或将大大减少。如大面积的EDS元素分布图采集用时不超过一分钟。
该高速双X射线能谱仪可以配合高亮度X-FEG电子枪使用,以最大限度地保证成像和能谱性能。
双X射线能谱仪可在1分钟内生成大面积、高分辨率的金-镍纳米颗粒EDS图谱(图中样本由布尔诺材料物理研究所成员J. Bursik提供)。
双X射线能谱仪的优点归纳如下:
1 双X射线能谱探头对称安装,可实现低束流条件下各类型样品的最高效化学分析;
2 双X射线能谱仪已集成在Velox软件中,便于用户获取和分析多模态数据,凭借单个测试系统就可获取最完整的材料表征信息。
3 Velox软件拥有独特的EDS吸收校正功能,保证数据定量化分析的高准确性。无论试样的空间位置,用户均可获得最准确的元素信息。
4 双X射线能谱仪针对如下功能进行了深度集成和优化:
(1) 高速、自动、无人化的三维EDS断层扫描保证数据的高效获取;
(2) STEM和EDS图谱软件可自动获取高分辨率、大面积图谱的相关统计数据。从不同成像和分析模式得到的数据可进一步通过Thermo ScientificTM AvizoTM软件进行实时处理和统计。
此外,双X射线能谱仪(Dual-X)可与现有Talos配合使用。这不仅有望帮助科学家突破以前难以解决的问题,并能将二维和三维的 EDS自动化分析带上新的平台。
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