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仪器信息网讯 5月14日,河北省政府办公厅发布《河北省人民政府办公厅关于加快集成电路产业发展的实施意见》(以下简称《意见》)。《意见》提出发展目标为,到2020年,全省集成电路产业主营业务收入年均增速30%以上,引进5-10家集成电路上下游企业,培育3-5家具有国内领先水平的集成电路设计服务及集成电路专用材料企业。新建3-5家省级以上重点实验室、企业技术中心、工程(技术)研究中心、工程实验室等研发平台。力争打造全球集成电路创新高地、国内最大的电子特气研发生产基地、带动作用明显的集成电路产业军民融合示范基地。
《意见》详细列举了雄安新区管委会,石家庄、邯郸、保定、廊坊市政府等地区的重点任务及发展目标,其中,雄安新区拟布局建设国家实验室、国家重点实验室、工程研究中心等一批集成电路领域国家级创新平台,聚集全球集成电路产业高端人才,开展集成电路芯片关键工艺技术研发设计,核心装备与新型材料研发及产业化,努力打造全球集成电路创新高地。
《意见》也是继河北省财政厅4月13日发布《转发关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题通知的通知》后,又一次官方对集成电路产业发展的政策支持及强化,也足显政府对布局集成电路产业的决心。
集成电路作为一个装备与工艺高度融合的产业,设计、制造、封测、材料设备等每个环节都至关重要。同时具有高风险、高投入、长周期的资本投入与技术密集型产业等特点,投资一个芯片厂的资金往往以数十亿、数百亿美元计。
参考3月底本网报道的福建省晋华集成电路有限公司的一次系列招标新闻。该公司用于新建12寸内存晶圆厂一条生产线——FAB1生产线的采购仪器设备,不完全统计,包括电镜15台,检测设备等80余包。具体包括聚焦离子束显微镜、聚焦离子束显微镜、球差校正穿透式电子显微镜、扫描式电子显微镜等各种电镜15台,电感耦合等离子体串联质谱仪2台、全反射X射线荧光分析仪1台,以及其他半导体晶圆检测仪器设备如蚀刻系统等,共计80余包(具体见附2)。此次机遇下,河北集成电路产业建设初期,势必为相关仪器商带来新的商机。
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附1《意见》原文
河北省人民政府办公厅关于加快集成电路产业发展的实施意见
各市(含定州、辛集市)人民政府,雄安新区管委会,省政府各部门:
集成电路产业是支撑国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业。为贯彻落实国家集成电路产业发展战略部署和《河北省人民政府关于印发河北省战略性新兴产业发展三年行动计划的通知》(冀政发〔2018〕3号)精神,抢抓机遇,培育壮大我省集成电路产业,经省政府同意,提出如下实施意见。
一、前景与基础
当前,全球大数据、云计算、物联网、移动互联网、人工智能等新业态快速发展,集成电路技术演进呈现新趋势,虚拟现实/增强现实、可穿戴设 备、智能机器人、智能网联汽车、智能手机、智能移动终端及芯片呈爆发式增长。在市场拉动和政策支持下,我国集成电路产业快速发展,整体实力显著提升,集成电路设计、制造能力与国际先进水平差距不断缩小,封装测试技术逐步接近国际先进水平,部分关键装备和材料被国内外生产线采用,区域集聚发展效应更加明显。 2017年,我国集成电路产量为1565亿块,同比增长约18.2%,实现销售收入5412亿元(设计业占38.3%、制造业占26.7%、封装测试业占 35%),同比增长24.8%,预计到2020年,销售收入将达到10000亿元。2017年,我省生产集成电路460万块,专用集成电路设计、基础材料 特色突出,在国内具有一定竞争优势,拥有一批半导体领域一流科研机构和优势企业。
二、总体要求
(一)发展思路。以习近平新时代中国特色社会主义思想为指引,深入贯彻党的十九大、全国“两会”、全国网络安全和信息化工作会议精神,全面 落实省委九届五次、六次、七次全会和省“两会”部署要求,牢牢把握历史性窗口期和战略性机遇期,按照高质量发展要求,以“固基强芯”为总体思路,补短板、 强弱项,实施集成电路产业聚集工程、集成电路产业“固基”工程、专用集成电路设计“强芯”工程、集成电路军民融合发展工程,着力培育引进发展专用集成电路 制造和封装测试,着力超前布局前沿技术,加强技术协同创新,推进科研成果转化,加大招商引资力度,完善产业配套体系,延伸集成电路产业链条,提升产业竞争力,加快推动全省工业转型升级。
(二)发展目标。到2020年,全省集成电路产业主营业务收入年均增速30%以上,引进5-10家集成电路上下游企业,培育3-5家具有国 内领先水平的集成电路设计服务及集成电路专用材料企业。新建3-5家省级以上重点实验室、企业技术中心、工程(技术)研究中心、工程实验室等研发平台,六 氟化钨、硅外延片、碳化硅晶片、氮化镓等基础材料技术继续保持国内领先水平,北斗导航、卫星通信等重点领域集成电路设计技术达到国内领先水平,在微机电系统(MEMS)、高端传感器、系统级封装、智能计算芯片等领域取得突破。力争打造全球集成电路创新高地、国内最大的电子特气研发生产基地、带动作用明显的集成电路产业军民融合示范基地。
三、重点任务
(一)实施集成电路产业聚集工程。雄安新区认真落实中共中央、国务院批复的《河北雄安新区规划纲要》精神,按照国家科技创新基地总体部署,积极引进京津及国内外科研单位、高等学校和知名企业,在雄安新区布局建设国家实验室、国家重点实验室、工程研究中心等一批集成电路领域国家级创新平台,聚 集全球集成电路产业高端人才,围绕下一代通信网络、北斗导航、物联网、人工智能、工业互联网、网络安全等开展集成电路芯片关键工艺技术研发设计,核心装备与新型材料研发及产业化,努力打造全球集成电路创新高地。石家庄重点发展微波集成电路设计、射频集成电路设计、微机电系统(MEMS)器件、光电模块等,加快科研成果孵化转化,打造全国领先的专用集成电路设计制造基地。邯郸依托骨干企业,进一步提升电子特气技术水平和国内外市场占有率,巩固国内领先地位, 打造国内技术最先进、规模最大的集成电路用电子特气生产基地。保定以太赫兹产业基地建设为依托,加快发展太赫兹芯片、关键器件以及太赫兹安检仪、光谱分析仪、药品检测仪等应用终端,推动太赫兹军民融合产业发展。廊坊依托中科院半导体研究所廊坊基地,开展光电子器件工程化研究,加快推进成果转化,积极发展砷 化镓、氮化镓等半导体材料,建设国内有较强影响力的砷化镓单晶生产基地。鼓励石家庄、保定、廊坊等条件适宜地区积极引进国内外专用集成电路芯片制造、封装测试企业,承接北京、雄安新区科研成果孵化转化,构建专用集成电路设计、制造、封装测试产业链条。(责任单位:省工业和信息化厅、省发展改革委、省科技 厅、省商务厅、雄安新区管委会,石家庄、邯郸、保定、廊坊市政府)
(二)实施集成电路产业“固基”工程。以高性能化、绿色化发展为主攻方向,推进具有自主知识产权的8英寸硅外延片、4英寸碳化硅规模化发 展,持续提升良品率和市场导入率;加快12英寸硅外延片、6英寸碳化硅、氮化镓、陶瓷管壳和陶瓷新材料等关键材料研发与产业化,到2020年,形成年产碳 化硅单晶衬底10万片生产能力。加快三氟化氮、六氟化钨等基础材料技术改造步伐,提升产品技术水平和质量档次,扩大生产规模,到2020年,形成年产三氟 化氮12000吨、六氟化钨2000吨、三氟甲磺酸1000吨生产能力,进一步巩固国内市场优势地位。推进第五代移动通信用钇铁石榴石晶体材料的研发与产业化,打破国外技术垄断,到2020年,实现年产1-2万粒规模。积极引进发展高端靶材、专用抛光液、专用清洗液、半导体光刻胶等集成电路电子材料,不断提升行业配套能力。(责任单位:省工业和信息化厅、省发展改革委、省科技厅、省商务厅,各市(含定州、辛集市,下同)政府)
(三)实施专用集成电路设计“强芯”工程。支持提升现有双模导航接收芯片、多模式卫星导航射频接收芯片、多模式卫星导航低噪声放大器芯片、射频识别(RFID)芯片、电源管理芯片、微机电系统(MEMS)芯片等设计水平,推进向高端化、微型化、长寿命、低功耗发展。推动第三代北斗导航高精度芯片、太赫兹芯片、第五代移动通信基站宽带高频段功率放大器和射频前端芯片、卫星移动通信射频终端芯片研发及产业化。支持开发设计面向移动智能终端、网络 通信、智能可穿戴设备等芯片,面向云计算、物联网、车联网、大数据等新兴领域的信息处理、传感器、新型存储等关键芯片,面向智能网联汽车、工业控制、金融电子、医疗电子等行业芯片。引导芯片设计企业与汽车、智能仪器仪表、机器人、物联网、轨道交通、第五代移动通信等领域整机企业合作开发和应用,实现自主芯 片行业规模应用。力争到2020年,培育孵化芯片设计企业10家以上。(责任单位:省工业和信息化厅、省发展改革委、省科技厅、省商务厅,各市政府)
(四)培育发展专用集成电路制造业。支持专用集成电路优势企业根据自身发展需求,推进芯片设计与制造一体化发展。改造提升现有模拟及数模混合、微机电系统(MEMS)、高压电子、微波射频集成电路等特色专用工艺生产线,不断扩大生产规模。加快推进高端传感器、微机电系统(MEMS)器件、光 电器件、半导体激光器、高端射频芯片、探测器芯片、高端晶体振荡器、绝缘栅双极型晶体管(IGBT)等产品研发和产业化,壮大功率器件和微波集成电路产 业,支持嵌入式CPU、智能计算芯片,以及卫星通信、卫星导航一体化芯片研发与产业化,为天地一体化星基通信导航联合应用夯实基础,加快推进8英寸集成微 机电系统(iMEMS)研发制造基地、特种气体新材料产业化、碳化硅单晶及外延片产业化、大电流高可靠中低压碳化硅功率器件封装线等重点项目建设。开展半导体内圆切片机、面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化。(责任单位:省工业和信息化厅、省发展改革委、省科技厅、省商务厅,各市政 府)
(五)引进发展集成电路封装测试业。突破高压大功率绝缘栅双极型晶体管(IGBT)模块的封装技术瓶颈,实现高端绝缘栅双极型晶体管 (IGBT)封装模块的产业化,推进陶瓷件精密制造工艺、精密组装工艺等技术研发及产业化,提高封装外壳一致性水平,满足第四代、五代移动通信需要。面向京津冀地区集成电路企业高端封装测试需求,引进一批国内外知名集成电路封装测试企业,加快推进芯片测试、检测、封装等生产线建设,支持高端多层陶瓷封装外 壳及陶瓷基板生产线扩能升级,稳步扩大市场占有率。大力发展圆片级封装、系统级封装、芯片级封装、硅通孔、三维封装、真空封装等,加快封装测试工艺技术升级和产能提升,推动集成电路封装设备及材料产业化,形成与制造、设计环节发展相适应的配套能力,尽快形成集群优势。(责任单位:省工业和信息化厅、省发展 改革委、省科技厅、省商务厅,各市政府)
(六)提升集成电路技术创新能力。巩固提升通信软件与专用集成电路设计国家工程研究中心、砷化镓集成电路和功率器件国家重点实验室、高密度集成电路封装技术国家地方联合工程实验室等国家级研发创新平台建设水平。支持企业加强与国内外集成电路领域知名科研院所及企业合作,建设省级以上重点实验 室、企业技术中心、工程(技术)研究中心、工程实验室等研发平台,建立以企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的技术创新体系,围绕第五代移动通信、北斗导航、卫星通信、人工智能、量子通信等关键核心芯片,以及第三代半导体材料、高端封装测试材料与设备等关键技术、前沿技术开展研发攻关,突破一批核心技 术。(责任单位:省科技厅、省发展改革委、省工业和信息化厅,各市政府)
(七)实施集成电路军民融合发展工程。加快建设邯郸(军民融合)国家级新型工业化产业示范基地和石家庄军民融合产业示范园,积极推进“军转 民”,加快省内军工科研单位民品产业化,重点推进电子特气、微机电系统(MEMS)器件、高端传感器及太赫兹芯片、模块,以及第三代北斗导航与位置服务产 业链应用等科技成果产业化步伐,积极推动微机电系统(MEMS)器件及高端传感器在汽车电子、工业控制、物联网、智慧城市等领域的应用,第三代北斗导航在 雄安新区、2022年冬奥会开展应用。鼓励“民参军”,支持芯片设计、第三代半导体材料等领域具有先进技术的民口单位承担军工科研生产任务,建设带动作用明显的集成电路产业军民融合发展基地。(责任单位:省发展改革委、省科技厅、省工业和信息化厅,各市政府)
四、保障措施
(一)加强组织领导。充分发挥各级“大智移云”发展领导小组及其办公室的作用,强化制度设计,明确责任分工,加强部门、行业、区域间合作,协调解决集成电路产业发展的重大问题,统筹政策、资金、人才等要素资源供给,向集成电路产业倾斜支持。省有关部门要按照职责分工,加强指导和督导检查,做 好本实施意见的组织实施,扎实推进各项工作。(责任单位:省直有关部门,各市政府)
(二)持续扩大对外开放合作。积极推动京津冀协同发展,推动北京制造、河北封装测试。加强与国内知名晶圆制造企业和封装测试龙头企业战略对接合作,在我省建立集成电路封装测试基地。深化与中国半导体行业协会等国家和地方重点协(学)会的战略合作,实施联合招商、产业链招商、精准招商。搭建合 作交流平台,支持集成电路优势企业参加中国电子信息博览会、美国光通信展、韩国电子展等国内外知名展会,借助中国国际数字经济博览会、中国·廊坊国际经济 贸易洽谈会等平台,组织举办集成电路领域高级别峰会、论坛等宣传推介活动,营造产业发展良好氛围。(责任单位:省工业和信息化厅、省商务厅、省发展改革委,各市政府)
(三)加大财税支持力度。统筹省战略性新兴产业发展、工业转型升级、科技创新等专项资金及相关基金,把集成电路技术研发及产业化、重大技术改造项目作为重点予以优先支持。鼓励省、市政府产业基金与社会资本合作共同设立省集成电路产业投资引导基金,推动参与国家集成电路产业投资基金(二期)募 集,主动对接支持我省集成电路产业重大项目。对在我省新落地的国内外知名集成电路企业、产业化项目按照“一企一策”“一项一议”原则,通过贴息、股权投资、事后奖补等方式给予支持。贯彻执行国家关于集成电路企业所得税政策、集成电路重大技术装备和产品关键零部件及原材料进口免税政策,以及有关科技重大专 项所需国内不能生产的关键设备、零部件和原材料进口免税政策。积极落实国家高新技术企业所得税优惠政策。(责任单位:省财政厅、省发展改革委、省工业和信息化厅、省科技厅、省国税局、省地税局,各市政府)
(四)完善投融资机制。支持符合条件的集成电路企业通过在境内外挂牌上市、公开发行股票、发行债券等多种方式筹集资金,拓宽直接融资渠道,鼓励市场主体通过并购、融资租赁等方式发展壮大。鼓励银行业等金融机构面向集成电路企业创新金融产品和服务,加大信贷支持和政策倾斜力度,提升综合服务质 量。(责任单位:省金融办、省财政厅、河北银监局、河北证监局、人行石家庄中心支行,各市政府)
(五)大力引进培养高端人才。结合省“巨人计划”“百人计划”“外专百人计划”“三三三人才工程”等,在集成电路技术领域着力引进一批海内 外高层次人才和创新团队;紧紧抓住疏解北京非首都功能这一“牛鼻子”,落实省委、省政府人才引进各项优惠政策,鼓励采用兼职、短期聘用、定期服务等方式,吸引北京集成电路技术人才来河北创新创业。支持省内高校加强集成电路专业人才培养,鼓励与国内知名院校联合办学,加大集成电路技术、管理人才的培养力度, 支持高等职业院校培养更多专业化高端蓝领。(责任单位:省人力资源社会保障厅、省教育厅、省财政厅,各市政府)
(六)优化发展环境。深入开展“双创双服”活动,推进简政放权,提升工作效率,清理废除妨碍统一市场和公平竞争的各种规定和做法,激发市场主体活力,营造良好的市场发展环境。坚持依法行政,加强行业管理,落实国家和省支持集成电路产业发展的各项政策措施,营造良好政策环境。建立省、市、县领 导干部重点企业、重点项目联系服务机制,实行领导包联、结对帮扶、精准服务,坚持问题导向,从手续审批、要素保障、基础设施、政策扶持等方面扎实开展帮扶,服务企业发展和项目建设。(责任单位:省直有关部门,各市政府)
河北省人民政府办公厅
2018年5月13日
附2 3月份福建省晋华集成电路有限公司新建12吋内存晶圆厂生产线FAB1招标产品中部分常见科学仪器及相关检测设备
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