尺寸/成本优势兼具　可用于近红外的MEMS光谱传感器亮相

微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫检测土壤样品；未来应用层面更可望扩大至工业、医疗、消费性电子等领域。

SWS光学MEMS部门经理Bassam Saadany表示，该公司的MEMS光谱感测器同时具备小尺寸、低成本优势。SWS指出，MEMS光谱感测器与传统的桌上型光谱仪器功能相同，皆能透过分析光谱响应(Spectral Response)来量化和鉴定待测物。

事实上，SWS亦利用MEMS光谱感测器模组组成小型光谱仪--NeoSpectra。据悉，NeoSpectra是目前市场上最精巧、低成本的傅立叶变换近红外线(Fourier Transform InfraRed, FT-IR)光谱仪。与市面上的小型近红外线光谱仪不同，NeoSpectra主要系由低成本、高校准度的元件所构成。

NeoSpectra可涵盖大范围的光谱量测，且能以极低功耗运作。目前NeoSpectra第一代产品的操作范围为近红外线光谱区，在1,150nm到2,500nm之间的光谱范围内拥有三种不同的配置方式。

值得一提的是，NeoSpectra已率先获得Dutch Sprouts选用，设计成小型手持式近红外线光谱分析仪，让农夫可以随时检测土壤品质，进而提升农作效率；而未来，SWS亦将致力于缩小MEMS光谱感测器模组尺寸，使其可应用于行动装置内，用以监测使用者血糖、含氧量以及其他医疗参数。

SWS目前已开始供应NeoSpectra的评估套件(Evaluation Kit)--SWS62221，并预计于2015年第三季开始正式量产。