日立高新新型冷场发射扫描电子显微镜SU8200系列发售

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分享： 2013/05/20 18:07:14

导读：全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。新型冷场发射扫描电镜系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，将从5月20日开始发售。

　　―新研发的冷场电子枪，分辨率更高，稳定性更强―

　　采用日立高新技术公司(社长：久田真佐男/以下简称日立高新)全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，将从5月20日开始发售。

　　扫描电镜广泛应用于纳米技术，半导体及电子产品，碳材料，生物及制药等领域。比如说，作为支撑新一代先进科学发展的核心技术，锂电池和燃料电池领域的碳材料和高分子材料，高效催化剂等的材料研究，正在全球范围内进行着。由于这些材料所具有的细微结构，所以电子显微镜不仅要有超高的分辨本领，还要具备在电子束损伤较小的低加速电压下的观察能力以及高灵敏度的元素分析能力，与此同时更要有良好的稳定性和可靠性。

　　这次开始发售的SU8200系列，色差更小，更适合于低加速电压下的高分辨率观察。安装了全新冷场电子枪。该电子枪的主要特点为，利用空气分子付着在灯丝表面以前的这段时间，使灯丝处于长时间稳定状态，实现发射电流稳定、高亮度的观察。正是因为这些，即使在低加速电压下，也能获得大束流，高亮度，优秀的信噪比，良好的稳定性和可靠性。还有，新型冷场电子枪配合各个能谱厂家的大口径高灵敏度的X射线探头，即便是在低加速电压下也可做高空间分辨率的能谱分析(元素分析)。

　　另外，在观察性能方面，通过提高马达台的抗震动能力和光路的优化将最高分辨率提高了20%(与前代机型SU8000系列相比)，在加速电压15KV时达到1.0nm，在着陆电压1KV时达到1.1nm。

　　SU8200系列，根据样品大小及观察目的，使用不同的马达台和样品仓，共三种机型。

　　【主要特点】

　　新研发的冷场电子枪

　　•利用电子枪轰击后的高亮度稳定期，高分辨观察和分析兼顾

　　•大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

　　•减轻污染的高真空样品仓

　　•通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化

　　【主要参数】

		SU8220	SU8230	SU8240
二次电子分辨率*^(1)**		0.8 nm (加速电压15kV, WD=4mm, 放大倍率270 kx) 1.1 nm (着陆电压1kV, WD=1.5mm, 放大倍率200 kx)*^(2)**
着陆电压		0.01-30 kV
放大倍率		20-2,000x^(*3)
马达台控制		5轴	5轴	高精度5轴*^(4)**
可动范围	X	0 - 50 mm	0 - 110 mm	0 - 110 mm
	Y	0 - 50 mm	0 - 110 mm	0 - 80 mm
	R	360°
	Z	1.5 - 30 mm	1.5 - 40 mm	1.5 - 40 mm
	T	-5 - 70°
重复精度				小于±0.5µm