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2010年年末开始，中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目启动，至今已采购仪器8批，采购金额约560万美元，折合人民币约为3600余万。以下是采购清单详情：
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包号
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仪器名称
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台数
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价格
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中标公司
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招标编号：OITC-G11032168 招标日期：2011.7.1
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1
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电子束曝光机
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1
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招标中
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招标编号：OITC-G11032126 招标日期：2011.5.24
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1
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全定制版图设计系统及混合信号IC设计平台
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1
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10万美元
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北京微通益友电子科技有限公司
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2
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光谱椭偏仪
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1
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14.39万美元
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HORIBA JOBIN YVON SAS
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招标编号：OITC-G11032111 招标日期：2011.5.5
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|
1
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膜厚仪
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1
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9.5万美元
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HORIBA JOBIN YVON S.A.S
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|
2
|
光刻胶涂覆机
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1
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15.1万美元
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Pico Track
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3
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噪声分析仪
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1
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28.369万美元
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天地华宇（香港）国际贸易有限公司
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4
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信号发生器
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1
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频谱分析仪
|
1
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招标编号：OITC-G11032080 招标日期：2011.4.12
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|
1
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尾气处理系统
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4
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30.7万美元
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埃地沃兹贸易（上海）有限公司
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|
2
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特种气体柜
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1
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13.65万美元
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上海正帆半导体设备有限公司
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3
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激光钻孔机
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1
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42万美元
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美国ESI公司
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|
4
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二次元影像量测仪
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1
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13.57万美元
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北京新卓仪器有限公司
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|
误码仪
|
1
|
28万美元
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百盛通公司
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微探针台
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1
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11.3425万美元
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美国奥泰公司
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招标编号：OITC-G11032058 招标日期：2011.3.23
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1
|
金属栅溅射台
|
1
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116.6万美元
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INFOVION 株式会社
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2
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真空干泵
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30
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34.5万美元
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埃地沃兹贸易（上海）有限公司
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3
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介质化学气相淀积系统改造
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1
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|
未知
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4
|
4寸化学机械抛光机
|
1
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10.6万美元
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南京冉锐科技有限公司
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招标编号：OITC-G11032057 招标日期：2011.3.15
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|
1
|
近场光学显微镜
|
1
|
23.83万美元
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上海纳腾仪器有限公司
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2
|
激光共聚焦扫描显微镜
|
1
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13.5万美元
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锐科系统集成有限公司
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招标编号：OITC-G11032015 招标日期：2011.1.7
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|
1
|
半导体存储性能测试探针台系统
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1
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24.719万美元
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Alltek Company USA, Inc
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|
2
|
表面粗糙度仪
|
1
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9.65万美元
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上海海江纳米科技有限公司
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招标编号：OITC-G11032006招标日期：2010.12.26
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1
|
超高真空化学气相沉积
|
1
|
——
|
废标
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2
|
宽光谱椭偏仪
|
1
|
——
|
废标
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|
3
|
系统级及纳米级IC设计软件平台
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1
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100万美金
|
奥肯思（北京）科技有限公司
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|
4
|
国产EDA工具
|
4
|
100万人民币
|
北京华大九天软件有限公司
|
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