七星华创CS300系列气体质量流量控制器亮相“十一五”成就展

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分享： 2011/03/13 11:27:06

导读： CS300系列产品是北京七星华创电子股份有限公司为大规模集成电路设备专门设计的新一代产品。该产品采用先进的金属表面处理技术，与气体接触的金属表面符合大规模集成电路设备的严格要求。产品采用了基于DF的压力不敏感信号处理算法、恒功率传感器技术、数字温度补偿系统、VCP的阀控制技术等先进的技术，可以有效地抵抗前端气体压力扰动，环境温度扰动，产品精度高，响应时间快，控制稳定。

　　仪器信息网讯 2011年3月7日至14日，北京七星华创电子股份有限公司的CS300系列气体质量流量控制器亮相国家“十一五”重大科技成就展。

CS300系列气体质量流量控制器

　　CS300系列产品是北京七星华创电子股份有限公司为大规模集成电路设备专门设计的新一代产品。

　　该产品采用先进的金属表面处理技术，与气体接触的金属表面符合大规模集成电路设备的严格要求。产品采用了基于DF的压力不敏感信号处理算法、恒功率传感器技术、数字温度补偿系统、VCP的阀控制技术等先进的技术，可以有效地抵抗前端气体压力扰动，环境温度扰动，产品精度高，响应时间快，控制稳定。

　　关于北京七星华创电子股份有限公司：

　　北京七星华创电子股份有限公司传承四十多年电子专用设备及电子元器件的生产制造经验，于2001年9月成立，是一家以微电子技术为核心，以电子专用设备与新型电子元器件为主营业务，集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。2006年，公司开始与美国顶尖流量计技术团队合作开发新品，获得成功，CS200数字式产品已经应用于真空、半导体领域。2010年推出了代表国际先进水平的CS300压力不敏感质量流量控制器，该产品仅国外高端的质量流量计生产厂家才能生产。

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