“100家实验室”专题：访信息产业部专用材料质量监督检验中心

　　为广泛征求用户的意见和需求，了解中国科学仪器市场的实际情况和仪器应用情况，仪器信息网自2008年6月1日开始，对不同行业有代表性的“100个实验室”进行走访参观。2011年1月14日，仪器信息网工作人员参观访问了本次活动的第六十二站：信息产业部专用材料质量监督检验中心。

　　信息产业部专用材料质量监督检验中心(以下简称“中心”)是经原国家计委、国务院国防工办批准在中国电子科技集团公司第四十六研究所(原信息产业部电子46所)扩建的材料检验中心，1988年由机电部批复成立，1990年12月通过机电部工程竣工验收，自此，中心成为电子材料研究、检测的专业机构，并且是国内最早从事半导体材料和光纤研究开发的单位之一。1991年，中心分别通过国家技术监督局国家计量认证验收、国家认证认可监督管理委员会的实验室认证，2010年获得国家实验室认可，成为国际互认实验室。

　　并且，中心是全国唯一一家具有电子材料质量监督认证与仲裁资质的机构、国际SIMS组织飞行试验室、联合国和国家环保总局资助的ODS实验室。

信息产业部专用材料质量监督检验中心的资质证书

　　中心主任董慧莪高级工程师介绍到，中心主要任务是对电子专用材料及其应用产品进行质量评价、检测、认证与仲裁，监督促进企业贯彻执行有关的技术标准，提高产品质量和经济效益。具体任务包括：电子专用材料的质量认证、认定、鉴定与仲裁;同时承担行业监督、行业抽查、电子材料及相关产品的进出口商检;国家标准、行业标准的制定、修订和标准的验证工作，研究制定有关的试验和检测方法;开展材料结构、工艺及缺陷分析研究，积累数据为提高产品质量和发展新产品提供技术咨询与技术服务;对本专业的质量监督检验测试工作进行技术指导、交流经验统一方法，培训检测人员。

　　中心占地面积40亩，建筑面积8000平方米。到2009年底中心仪器设备的投资总额达到了6000万元。中心的检测设备齐备，业务覆盖面广，是国内材料检测实验室规模最大、检测设备最齐全的实验室之一。中心分为四个室：物理分析室、结构与表面分析室、成分分析室和业务室。兼备了质量管理、分析测试和科学研究等方面。中心现已建成可开展半导体材料、金属材料(包括框架材料、引线材料、合金材料等)、焊接材料、清洗材料、绝缘材料、以及矿石、化工、轻纺、建材、化学试剂等材料的理化检测分析、有毒有害物质分析、材料和器件失效分析的综合性实验室。

二次离子质谱仪 IMS 4f-E7

　　二次离子质谱仪是材料和器件分析的最重要手段之一，在半导体工艺中具有非常重要的用途。IMS-4F是法国CAMECA公司的产品，具有高灵敏度和深度分析等特点，主要用于固体材料表面/界面元素成份及杂质(可针对全元素)的深度分布及平面分布分析。

等离子体发射光谱仪 720-ES、原子吸收光谱仪 3110

　　720-ES是美国VARIAN公司的产品，具有很高的灵敏度、很低的检测限，基体和共存元素的干扰小；样品好量小，能对70余种元素进行定性及定量分析。

　　3110是美国珀金埃尔默公司的产品，其灵敏度高，一般为μg/g级到ng/g级；抗干扰能力强；空气-乙炔火焰可以测定约30种元素；操作简便。

　　本中心利用这两种检测器仪器可以对绝大多数的化学元素能做到精确快捷的检测。

场发射扫描电子显微镜Zeiss Supra 55VP

　　Zeiss Supra 55VP是德国蔡司公司（原英国剑桥公司）的产品，其低真空模式可以减轻荷电，不导电样品可不必喷镀导电层而直接观测；可对较大样品做无损检测；配备X射线能谱仪附件，可同时对样品成分进行定性和定量分析、线扫描、面扫描以及成分像。

　　在本中心，Zeiss Supra 55VP主要用于固体材料表面形貌及成份微区分析，材料镀层厚度及薄膜厚度等分析。

X光电子能谱 PHI 5000 Versa Probe、俄歇电子能谱仪 PHI 670

　　上述两台仪器都是日本PHI公司的产品，PHI 5000 Versa Probe主要用于材料表面/界面元素组成分析及化学价态分析，PHI 670主要用于材料表面/界面微区元素组成分析、元素深度分布及面分布分析。

电子式万能试验机 CSS-44300、WDW-50

　　长春试验机研究所的CSS-44300型电子式万能试验机、济南恒瑞金试验机有限公司的WDW-50电子式万能试验机主要用来检测材料的力学性能。

比表面和孔隙度分析仪 Quadrasorb SI

　　该仪器是美国康塔仪器公司新近推出的一款全自动4站比表面和孔隙度分析仪，测定样品的比表面积及孔径。据介绍，该仪器具有4组独立的样品分析系统，各分析系统独立运行，可选择不同的分析和测量条件，非常适合像本中心这样的多样品、大批量分析需要的实验室。

可焊性测试仪 SAT-5100

　　随着全球无铅化焊接，电子产品小型化，高密度的表面贴装等技术的推进，焊接工艺会比从前更困难，焊接质量越来越难以保证，因此在焊接之前对电子产品的镀层部份、焊料、助焊剂等的综合参数做一个评价，变得越来越重要。可焊性测试仪在半导体及电子封装领域被广泛使用。日本力世科公司的SAT-5100型可焊性测试仪正是运用润湿平衡的测试方法，使焊接过程得到形象的再现性，利用SAT-5100能得到各种各样润湿信息，从而提高电子产品的焊接质量。

　　在本中心，SAT-5100主要用于助焊剂和焊锡等焊接材料的的润湿力、润湿时间、润湿角及张力等润湿性参数的测试，以及评价电子器件、线路板对焊接材料的附着性。

激光粒度仪 ADA2000、傅里叶变换红外光谱仪 TENSOR 27

　　ADA2000是英国马尔文公司的产品，主要用于材料粒度分析。

　　TENSOR 27是布鲁克光谱仪器公司的产品，主要用于对电子材料的杂质、缺陷及有机物的成份进行分析。

超高温综合同步热分析仪 STA 449F3、热膨胀仪 DIL 402C

　　上述两台仪器都是德国耐驰公司的产品，其中，STA 449F3覆盖-150至2000℃的宽广的温度范围，可以快速而深入地对材料的热稳定性、分解行为、组分分析、相转变、熔融过程等进行表征。在本中心，STA 449F3主要用于测定样品的熔点、玻璃化温度。

　　DIL 402C用于测量线膨胀系数。DIL 402C的炉体可以自行更换、操作简便;装载样品简便，即使非理想尺寸的样品都可以很轻松的放进管状样品支架的凹槽中。

布氏硬度计 HB-3000B-I、电动洛氏硬度计 500MRA

　　HB-3000B-I是济南时代试金仪器有限公司的产品，测量样品的布氏硬度；500MRA是沃伯特测量仪器(上海)有限公司的产品用来测样品的洛氏硬度。

　　中心现有工作人员35名，其中教授3名，高级工程师12名，工程师14名，大本以上学历的占90%。中心拥有一批具有良好理论基础和丰富实践经验的专业研究与检测人员，专业结构和年龄层次分布也较合理。

　　在为社会提供检测技术支持的同时，中心还多次承担了国家“八五”到“十一五”的多项材料科技攻关、材料质量检测方法研究和质量认证任务，承担了数十项国防科技攻关和材料检测和失效分析项目，获得了多项科研成果和科技进步奖，负责并参与了上百项材料检测标准的制定。

合影

　　通过近二十年的运行和完善，中心不但为电子材料质量监督和行业归口管理做了大量工作，同时为国内相关企事业单位开展了大量的质量控制、质量分析、质量认证和仲裁工作，为企事业单位扩项目上规模起到了有效的技术支撑作用。得到了国家部委和广大用户的充分肯定和认可。

　　附录：信息产业部专用材料质量监督检验中心