高通量扫描电子显微镜

1. 国际首创并拥有自主知识产权的高效电子收集和成像系统，采用同轴电子直接探测技术和高速FPGA采集模块，使该系统在世界上首次实现低加速电压（1kV）下100M/s级二次电子（Secondary Electron）和背散射电子（Backscatter Electron）的超高速同步成像！该系统具备非比寻常的视频级（200fps@512X512）纳米分析能力，使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”变成纳米“摄像机”。 2. 针对于低加速电压、大视野下分辨率而专门设计的电子光学镜筒光路，采用浸没摇摆电磁复合透镜设计，使其在1kV加速电压下即可获得1.6nm、5kV下可获得1.2nm的高分辨率能力，且具备高分辨率视场的区域较传统扫描电镜大4倍以上，而且保持高线性度（1‰的计量级）。 3. 该系统高度的智能化结合超高速成像能力（4TB/天），使之具备了跨尺度信息融合能力。它可以全自动的超大区域（100mmX100mm）全息地图集式成像模式，可以在同时保持高分辨率情况下对样品进行全自动的无遗漏信息采集，并绘制成Google地图式全景信息浏览。结合人工智能（A.I.）算法，可以对工程级材料进行整体纳米晶粒分布统计、各类缺陷的标记与归类、成分分布等电镜微区分析。并且标配的真空预抽室和伸缩臂机构，使之具备真正意义上的“一键全自动换样”。 4. 完备的二次开发接口，为最大化地满足客户定制需求，提高扫描电镜的图像采集效率，发挥电镜高通量性能，NeuroSEM 100高通量电镜供完备的二次开发接口，以供客户定制个性化的图像采集流程。