新一代高性能激光浮区法单晶炉
1、更高功率、更加均匀的能量分布和更加稳定 2、独特的专利技术 (1)采用专利技术同源五路激光设计,确保熔区能量分布更加均匀(专利号:JP2015-58640); (2)更加科学的激光光斑优化方案,有助于降低晶体生长过程中的热应力(专利号:JP2017-136640, JP2017-179573); 采用独特的实时温度集成控制系统(专利号:JP2015-78683)