飞纳台式场发射扫描电镜 Phenom LE

（1）首次将场发射灯丝稳定运行在台式电镜上，采用肖特基场发射灯丝，肖特基场发射灯丝发射束流大，束流稳定性高，既适合做SEM成像，还适合做能谱分析。首次将台式扫描电镜的分辨率提升到2.5nm，放大倍数提升到50万倍； （2）为了满足场发射灯丝对超高真空的要求，创新性地采用全自动真空锁技术，获得了场发射灯丝扫描电镜最快的抽真空速度：15秒抽真空； （3）作为桌面型设备，为了满足50万倍拍照需求，防震动等级必须得到大幅提升，Phenom LE创新性地采用耦合式被动防震和主动防震，获得50万倍震动免疫成像。对实验室的安装条件要求大幅降低。