国仪量子场发射扫描电镜SEM5000
国仪量子自主研发国产热场发射扫描电镜,有以下六大特点
1、分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
2、电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
3、高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
4、电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
5、水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
6、磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换