高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS

采用全新设计且拥有自主知识产权的浸没式摇摆物镜技术（SORRIL），结合高效电子信号收集系统，采用直接电子探测技术和高速数据采集模组，使该系统实现二次电子和背散射电子的双通道同步100M/s级超高速成像，成像速度在同等条件下是同类机型的10倍以上。 通过矩阵式扫描模式，采用24k×24k的极高像素采集，可以在72小时内以4nm 像素完成对10x10 mm2 区域的无遗漏采集。 新机型在硬件部分模组提升较大，配备新型电子枪，电子束落点能量范围可达30keV，涵盖绝大多数扫描电镜落点能量需求范围。分辨率可达1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速电压下即可获得1.5nm高分辨率的同时，仍能保持1‰以下的低图像畸变。 该系统具备高度的智能化，包括简单快捷全景光学导航、一键全自动换样、全景光学导航、实时聚焦追踪，可以实现全自动超大区域（100mm×100mm）全息地图集式拍摄，并绘制成全景地图式信息浏览。