新一代高精度极低温铯离子源FIB系统

借助曾获诺贝尔奖的激光冷却技术，zeroK Nanotech 公司将原子束冷却到只比绝对零度高百万分之几的低温。冷却的原子束随后在电场中被光致电离，从而产生低温离子源(LoTIS)。低温减少了离子的随机运动，使其生成的离子束斑与常规束斑相比具有更高的亮度，更小的尺寸，和更低的能量散失。拥有低温离子源的FIB 系统可以将更大电流集中在更小的束斑上，所以提高了FIB 系统在宽泛的能量范围内的加工精度。同时高亮度带来的信号的高信噪比和低能量散失降低的色散，保证了对样品的高质量成像。