莱伯泰科 LabMS 3000 电感耦合等离子体质谱仪

（1）唯一通过了SEMI S2 标准认证 (SEMI标准是指半导体制造装置、平面显示屏装置以及材料厂商构成的行业团体的行业规范。在半导体行业实际上等于国际标准的效力）的国产质谱仪，符合半导体行业的检测和生产安全和性能需求； （2）以自有技术攻破壁垒、解决“卡脖子“问题，自主研发的LabMS 3000 ICP-MS，具有高性能冷焰模式、半导体行业专用提取透镜组，检出限性能达到了国际高端质谱仪器同等水平，配备低背景的 PFA 进样系统，半导体控温雾化室，多种在线检测所需的气体压力和温度监控等配置，正是聚焦和深度开发符合国内特殊行业（如半导体）的检测和生产需求的产品。 (3)3000型质谱仪与国产的动态薄层自动提取设备联机，为半导体行业的生产企业提供晶圆表面污染提取的在线检测仪，整套设备真正实现了国内研制和生产的“国产化”。