基恩士 形状测量激光显微镜 VK-X3000

新一代VK-X3000创新点： 1、扫描方式升级：上一代VK-X1000系列有两种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦），新一代VK-X3000系列升级为三种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦、白光干涉），可以根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式，进行高精度测量。相比以前，能对应的产品更多更广了。且因为扫描方式升级，最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm，微小形状也能准确获取，支持难以扫描的透明体和镜面体。 2、配件升级：VK-X1000系列配备的是0.5nm线性标尺，VK-X3000系列升级为0.1nm线性标尺。配备超高精度线性标尺，以0.1nm的高分辨率识别物镜的Z位置，从而实现更加细微的凹凸检测。高度测量结果基于符合国际标准的可追溯性系统。 3、增加CAD比较测量功能：将CAD数据与扫描数据重叠，可以比较和讨论“实际形状是否与预期设计一致”。还可以通过“比较任意位置的截面形状”，“用颜色显示形状整体的偏差”等多种分析方法确认产品的完成度。这一项功能在品质管控与研发阶段是很有帮助的。