纳米薄膜热导率测试系统
纳米薄膜热导率测试系统( TCN-2ω )是一款2ω方法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用系统。与其他方法相比，样品制备和测量非常简单，不需要光刻技术即可将金属薄膜（1.7mm×15mm×100nm）沉积在薄膜样品上。样品测量则开发出一种监测周期加热过程中热反射带来的金属薄膜表面温度变化的方法，通过厚度方向上的一维热导模型计算出样品表面的温度变化，十分简单地衡量厚度方向上热导率。