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椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用
2018/05/16 11:23
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方案摘要：
产品配置单：
HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
型号： Smart SE
产地： 法国
品牌： HORIBA
¥80万 - 100万
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方案详情：
椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用
椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电极、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电极中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。
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