2017/11/20 17:35
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FIB-SEM双束电镜自上世纪九十年代问世以来就收到材料研究工作者的青睐,尤其是对于半导体领域。在1990年Orsay Physics就为IBM研制出了世界上第一台FIB-SEM双束系统。所谓的FIB-SEM双束电镜就是在扫描电镜的基础上增加了聚焦离子枪(FIB)。因为FIB具备微区加工能力,双束电镜不仅能够观察和分析样品的表面特征,同时可以利用离子枪的切割能力,观察和分析样品表层下面的微区特征;因此FIB和SEM的结合,发展成为一种功能更加全面的材料微区分析手段。下面我们将总结一下FIB—SEM能够胜任的研究领域。
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