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仪器简介：
Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。
技术参数：
应用：
· 蚀刻 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光烧蚀
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电感耦合，即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
主要特点：
· 软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动最小
· 45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
· 带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围
· 可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析
· Penning规和互锁装置可提供过压保护
· 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
· 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft
Hiden过程质谱EQP的工作原理介绍
过程质谱EQP的使用方法?
HidenEQP多少钱一台?
过程质谱EQP可以检测什么？
过程质谱EQP使用的注意事项？
HidenEQP的说明书有吗？
Hiden过程质谱EQP的操作规程有吗？
Hiden过程质谱EQP报价含票含运吗？
HidenEQP有现货吗？
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北京英格海德：薄膜的磁控溅射沉积研究
Hiden的EQP等离子体质量、能量分析仪在薄膜的磁控溅射沉积研究中可以提供残余气体分析、随磁控源开关产生的气体分析、离子能量分布、中性粒子分析等多种分析手段。
材料
2017/09/14
企业名称
北京英格海德分析技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108768489122U
成立日期
2004-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;企业管理咨询;经济贸易咨询;企业策划、设计;市场调查;承办展览展示活动;组织文化艺术交流活动(不含营业性演出);翻译服务;设计、制作、代理、发布广告;会议服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;仪器仪表维修;销售计算机、软件及辅助设备、工艺品、电子产品、家用电器、机械设备、五金交电(不含电动自行车)、通讯设备、建筑材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品).(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京英格海德分析技术有限公司
公司地址
北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室
客服电话
公司名称： 北京英格海德分析技术有限公司
公司地址： 北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室 联系人： 孙先生，郑先生 邮编： 100195 联系电话： 400-860-5168转0702
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