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当前位置: 北京鑫视科 > 气质联用(GC-MS) > ORGA CIS 质谱仪

ORGA CIS 质谱仪

品牌: 鑫视科
产地: 上海
型号: ORGA CIS
报价: 面议
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核心参数

色谱类型: 常规气质

产地类别: 国产

质量范围: 100amu, 200amu, 300amu

灵敏度: 4.0E-6A/Torr

产品介绍

产品介绍:

ORGA CIS系列残余气体分析是奕瑞科技最新开发的一款广泛应用于真空系统的气体监测仪器,具有快速数据采集功能、高灵敏度、良好最小可检测分压、良好的系统稳定性与可靠性,能够快速确定真空腔体内所有气体分压的数据,帮助主机系统准确判断气体泄漏情况,有效监控过程气体,识别污染气体等。良好的产品性能使得ORGACIS残余气体分析在半导体工业、真空诊断、真空镀膜(ALDPVDCVD)、刻蚀等领域具有广泛的应用前景。

产品特点:

尺寸紧凑,灵敏度高,质量分辨率高,可满足制程工艺需求

具有多个压力入口,满足复杂工艺要求

全系列产品,可与机台通讯

模块化设计,操作维护简单

产品优势:

真空泄漏检测

真空镀膜腔体残余气体分析

ALD/PVD/CVDEtch

高能物理、电池泄漏检测

航空航天

产品参数:

产品型号/Model

QRG ACIS F

QRG A CISM

质量范围/Mass range

100amu 200amu 300amu

传感器长度/Sensor length

151mm

探测器/Detector type

FC

FC&MCP

灯丝类型/Filament type

Wor Ir_Y2O

总压范围/Total pressure range

5E-7tolE-3Tomr

离子源最大工作压力/Maximum ion source operating pressure

lE-3Torr

系统最大工作压力/System operating pressure

1E-8Torr to 1.2 atmospheres(with orifices/cap ilary)

分辨率/Resolution

灵敏度/Sensitivity

4.0E-6A/Torr

8.0E-3A/Torr(MCP)

最小可检分压/Min.detectable partial pressure

2.0E-10Torr

1.0E-12Torr

质量稳定性/mass stab ity

Better than t 0.1amu(@40am 8h)

最大传感器工作温度/Max.sensor operating temperature

150

输入电源/Input power

AC220V±10%50Hz

通讯方式/Mode of communication

Network port

电子能量/Electron energy

10-110eV可调(默认40eV) /10-110eV adjustable(default 40eV)

发射电流/Emission current

0.1-2mA可调(默认0.2mA) /0.1-2mA adjustable(default 0.2mA)

灯丝保护/Flament protection

具有开路、过流(4.2A) 保护,总压保护/Open circut overcurrent(4.2A) protection total pressure protection

软件/Software

RGA分析软件/RGA Analyzer

重量/Weight

20kg


售后服务
产品货期: 7天
整机质保期: 1年
培训服务: 暂无此项服务
安装调试时间: 到货后3天内
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鑫视科气质联用仪ORGA CIS的工作原理介绍

气质联用仪ORGA CIS的使用方法?

鑫视科ORGA CIS多少钱一台?

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气质联用仪ORGA CIS使用的注意事项?

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鑫视科气质联用仪ORGA CIS的操作规程有吗?

鑫视科气质联用仪ORGA CIS报价含票含运吗?

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QRGAOIS 质谱仪

型号:QRGAOIS

面议

工商信息

企业名称

北京鑫视科科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91110106MA020X4F70

成立日期

2021-03-16

注册资本

109万元

经营范围

科普宣传服务;科普橱窗展览服务;技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让;销售燃料油、化工产品(不含危险化学品)、办公用品、日用百货、纸制品、建筑材料、木材、金属材料、机械设备、五金交电、机电设备、仪器仪表、消防器材、电子设备、水性涂料(除油漆)、玻璃制品;机械设备维修;机械设备租赁;委托加工涂料。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)

联系方式
北京鑫视科科技有限公司为您提供鑫视科ORGA CIS 质谱仪,鑫视科ORGA CIS产地为上海,属于国产气质联用(GC-MS),除了ORGA CIS 质谱仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供QRGAOIS 质谱仪,北京鑫视科客服电话400-860-5168转6267,售前、售后均可联系。
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