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400-860-5168转6201
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核心参数
仪器结构： 准双光束
接收器类： 光电二极管阵列
波长范围： 真空紫外(~190nm)
自动程度： 自动波长
产地类别： 进口
400-860-5168转6201
日本R-DEC路德克二级差动排气型RDA-201G/屏幕ASHP-6
二级差动排气型 Edge-RHEED
制造商名称：R-DEC株式会社
产品信息
我们开发了Edge-RHEED，可用于1 Pa或更高的高成膜压力，例如PLD和激光MBE。
两级差动排气电子枪特点
可使用高达 100 Pa
具有角度调节（倾斜）功能
磁屏蔽标准装备
闸阀标准设备
干式排气装置选项
包括安装支架（形状可协商）
专用活动屏特点
ICF152安装法兰
带视口
带手动旋转防污百叶窗
带遮光罩
带直线运动机构，行程50mm
绘画
安装示意图
屏幕规格
电子枪
| 型号 | RDA-201G |
| 绝缘电压 | 直流30kV |
| 光斑直径 | 最小Φ90μm |
| 灯丝 | 钨钢发夹 |
| 韦纳特 | 可变偏差 |
| 聚焦镜 | 空芯电磁透镜 |
| 偏光镜片 | 环形电磁透镜 |
| 光束偏转 | X：±2°，Y：±4°（机械手册） |
| 磁屏蔽 | 标准装备（仅限电子枪部分） |
| 运营压力 | <100帕 |
| 差速排气 | 第二级：灯丝室、喷嘴部分 |
| 最高烘烤温度 | 200℃ |
| 安装法兰 | ICF114-FH |
| 排气口法兰 | ICF70-FH |
| 尺寸 | Φ192毫米×160毫米×703毫米 |
专用屏幕
| 型号 | ASHP-6 |
| 安装法兰 | ICF152-FH |
| 视口 | 7056玻璃 |
| 筛网有效直径 | Φ38mm（铅玻璃） |
| 屏幕荧光粉 | P31 |
| 手动直线运动机构 | 行程距离 50 毫米 |
| 防污百叶窗 | 手动旋转 |
电源
| 型号 | RDA-006P |
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