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核心参数
产品种类: 电动位移台
产地类别: 国产
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产品特点
l Ÿ XY轴为平面式气浮结构,减小系统误差影响
l Ÿ 横梁轴为陶瓷材质气浮导轨,超高性能精度
l Ÿ 龙门式双驱结构,承载能力强
l Ÿ Z轴纳米级定位抖动
应用领域
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台用于飞秒激光加工。
产品简介
XY轴采用平面式气浮结构,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,行程1000mm,直线度±1.5μm,平面度±1μm。XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,减小因叠层引起的阿贝误差。开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,XY轴负载可达100kg。
Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,行程100mm,定位纹波优于20nm,Z轴垂直安装到大理石龙门横梁上。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
轴系 Axis
测试项目 Test Items
单位 Units
指标 Specification
X 轴
(龙门轴)
行程 Travel
mm
1000
补偿后定位精度 Accuracy
μm
±1
双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability
±0.5
直线度 Straightness
±1.5
平面度 Flatness
偏摆 Yaw
arc sec
±3.5
俯仰 Pitch
工作速度 Operating Speed
mm/s
100
Y 轴
(横梁轴)
±3
Z 轴
±2
XY
负载 Load
kg
Z
15
X-Y
垂直度Orthogonality
3
企业名称
北京瑞邦精控科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110113MA01KM410N
成立日期
2019-06-06
注册资本
300万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询;软件开发;应用软件服务;计算机系统集成服务;基础软件服务;销售机械设备、电子元器件、仪器仪表、金属制品、通讯设备、金属材料(不含电石、铁合金)、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电(不含电动自行车),制造其他传动部件、工业自动控制系统装置。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
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