精密气浮Z轴

型号 Model

单位 Units

QFLZ-25

行程 Travel

mm

25

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

普通版 Standard

±0.05

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.1

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.25

俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

普通版 Standard

±0.5

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

nm

0.3 或 5（选配）

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

mm/s

50

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

kg

5

供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾

MPa

0.5±0.05

型号

QFLZ

-25

-N

-N

-1

-0

-DB

-3

-N

-N

描述

开式气浮Z轴

行程25mm

普通版

默认

增量式光栅1Vpp反馈

原点在行程中心位置

DB接头

线缆长度3米

无大理石基座

无压力保护开关

名称

型号

描述

精密Z轴

QFLZ

开式气浮Z轴

行程

-25

行程25mm

精度等级

-N

-PLUS

普通版

高精版

电子分辨率

-N

-0.3

-5

默认

电子分辨率0.3nm

电子分辨率5nm

反馈方式

-1

-T

-ABS

增量式光栅1Vpp反馈

增量式光栅TTL反馈

绝对式光栅反馈

零点位置

-U

-0

-D

原点在行程上极限位置

零点在行程中心位置（标配）

原点在行程下极限位置

线缆管理

-DB

DB接头，无线缆管理

线缆长度

-3

-5

-DZ

长度3米（标配）

长度5米

定制

大理石基座

-Y

-N

有大理石基座

无大理石基座（标配）

压力保护开关

-Y

-N

有压力保护开关（标配）

无压力保护开关