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核心参数
产品种类: 电动位移台
产地类别: 国产
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产品特点
l Ÿ 非接触开式气浮结构 Ÿ 光栅尺闭环反馈
l Ÿ 重复定位精度±25nm Ÿ 直线度和平面度100nm
l Ÿ 角度误差±0.5arc sec Ÿ 可定制化设计
应用领域
QFLZ系列是一款纳米级精度的气浮Z轴,安装在XY轴上使用,用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺组成,开式气浮,永磁预载结构,配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,重复定位精度±25nm,直线度和平面度±0.05μm,Pitch Yaw ±0.25arc sec,由于非接触式结构,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm;定制加速度5m/s²。
规格指标
型号 Model
单位 Units
QFLZ-25
行程 Travel
mm
25
补偿后定位精度
Accuracy
高精版 Plus
μm
±0.05
普通版 Standard
±0.1
双向重复定位精度
Bi-Dir Repeatability
±0.025
直线度 (1)
Straightness
平面度 (1)
Flatness
±0.25
俯仰、翻滚、偏摆 (1)
Pitch Roll Yaw
arc sec
±0.5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)
nm
0.3 或 5(选配)
微动步距
Min Incremental Step
≤ 5
≤ 50
定位纹波
In Position Stability
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)
mm/s
50
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)
m/s²
1,(5 定制)
最大负载 Max Load
kg
5
供气压力 Operating Pressure (4)
MPa
0.5±0.05
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下的指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。
订购信息
型号
QFLZ
-25
-N
-1
-0
-DB
-3
描述
开式气浮Z轴
行程25mm
普通版
默认
增量式光栅1Vpp反馈
原点在行程中心位置
DB接头
线缆长度3米
无大理石基座
无压力保护开关
名称
精密Z轴
行程
精度等级
-PLUS
高精版
电子分辨率
-0.3
-5
电子分辨率0.3nm
电子分辨率5nm
反馈方式
-T
-ABS
增量式光栅TTL反馈
绝对式光栅反馈
零点位置
-U
-D
原点在行程上极限位置
零点在行程中心位置(标配)
原点在行程下极限位置
线缆管理
DB接头,无线缆管理
线缆长度
-DZ
长度3米(标配)
长度5米
定制
大理石基座
-Y
有大理石基座
无大理石基座(标配)
压力保护开关
有压力保护开关(标配)
企业名称
北京瑞邦精控科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110113MA01KM410N
成立日期
2019-06-06
注册资本
300万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询;软件开发;应用软件服务;计算机系统集成服务;基础软件服务;销售机械设备、电子元器件、仪器仪表、金属制品、通讯设备、金属材料(不含电石、铁合金)、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电(不含电动自行车),制造其他传动部件、工业自动控制系统装置。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
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