核心参数
组成要素: 固体激光器产品及设备
GIGAPHOTON-准分子激光器-GT45A
产品型号: GT45A
产品介绍: GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率,满足客户的多样化需求。
性能特点:
模块寿命延长技术
降低维护频率
提高生产率
减轻环境负荷
可选功能与配件:
可以搭载GT65A可使用的功能和技术
技术参数:
产地:日本
发射波长:193 nm
平均输出功率:45 – 90 W
脉冲能量:11.25 – 15 mJ
发射频率:4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,):≤0.5 pm
数据采集:监控的方式
输出方式:晶圆输出
光谱带宽:可变化
光谱宽度:稳定
产品应用:
半导体工业
Gigaphoton激光产品GT45A的工作原理介绍
激光产品GT45A的使用方法?
GigaphotonGT45A多少钱一台?
激光产品GT45A可以检测什么?
激光产品GT45A使用的注意事项?
GigaphotonGT45A的说明书有吗?
Gigaphoton激光产品GT45A的操作规程有吗?
Gigaphoton激光产品GT45A报价含票含运吗?
GigaphotonGT45A有现货吗?
企业名称
天津瑞利光电科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91120118MA05MALTXU
成立日期
2016-12-27
注册资本
伍佰捌拾万元人民币
经营范围
光电技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备、电子设备、智能设备、通讯设备、仪器仪表、实验室设备、五金交电、电线电缆、环保设备、汽车配件、工艺品、办公用品的销售;自营和代理货物及技术的进出口业务;光电设备安装、调试及检修(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)