核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: 4-12寸
工艺温度: 650度可选
前驱体数: 4-10路
重量: 200kg
尺寸(W x H x D): 85X65X180
均匀性: 由于1.5%
原子层沉积系统
Atomic Layer Deposition System
产地:美国Angstrom;
型号:Angstrom Dep II, Angstrom Dep II;
原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition)是一种原子尺度的薄膜制备技术,它可以沉积均匀一致、厚度可控、成分可调的超薄薄膜。随着纳米技术和半导体微电子技术的发展,器件和材料的尺寸要求不断地降低,同时器件结构中的宽深比不断增加,这样就要求所使用材料的厚度降低至十几纳米到几个纳米数量级。因此原子层沉积技术逐渐成为了相关制造领域不可替代的技术,其优势决定了它具有巨大的发展潜力和更加广阔的应用空间。
主要型号:
- Angstrom Dep II: 热型原子层沉积系统 (T-ALD);
- Angstrom Dep III: 等离子体增强原子层沉积系统 (PEALD);
- Angstrom Dep I: 粉末原子层沉积系统 (Powder ALD);
技术规格特点:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸,8英寸,12英寸;
- 基底加热温度:25℃~450℃(选配:650℃);
- ALD沉积均匀性:<1% (AL2O3@4”晶圆衬底);
- 前驱体源路:4路 / 6路 / 8路,可选;
- 源瓶容量/温度:100cc,常温 / 150℃ / 200℃ / 250℃可选;
- ALD阀门:Swagelok高温ALD阀,150℃ / 200℃ / 250℃可选;
- 载气:氮气或者氩气;
- 真空获得系统:阿尔卡特真空机械泵,也可选配普发分子泵或高速干泵;
- 其他可选模块: Load-Lock样品传输腔室,手套箱,冷阱,臭氧发生器,等离子体源、粉末沉积腔,各种原位监测模块,尾气处理系统等;
ALD可沉积材料分类:
- 氧化物: Al2O3, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2, SnO2, ZnO, La2O3, V2O5, SiO2,...
- 氮化物: AlN, TaNx, NbN, TiN, MoN, ZrN, HfN, GaN, ...
- 硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS, ...
- 氟化物: CaF2, SrF2, ZnF2, ...
- 碳化物: TiC, NbC, TaC, ...
- 金属单质:Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni, ...
- 复合结构材料: AlTiNx, AlTiOx, AlHfOx, SiO2:Al, HfSiOx, ...
等等…
参考用户:
中科院化学所,中科院大连化物所,中科院长春光机所,北京大学,北京工大,北京科大,电子科大,上海理工大学…
美国埃米原子层沉积DEP-II的工作原理介绍
原子层沉积DEP-II的使用方法?
美国埃米DEP-II多少钱一台?
原子层沉积DEP-II可以检测什么?
原子层沉积DEP-II使用的注意事项?
美国埃米DEP-II的说明书有吗?
美国埃米原子层沉积DEP-II的操作规程有吗?
美国埃米原子层沉积DEP-II报价含票含运吗?
美国埃米DEP-II有现货吗?
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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江苏南通越江路88号
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