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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 8寸
温度范围： 0-1450度
最高升温速率： 150度/S
降温速率： 200度/S
退火温度准确性： 1度
退火温度均匀性： 1%
规格参数：
1、样品最大尺寸：AS-master：8-inch，Up to 200 mm diameter；
2、温度范围：AS-master室温~1450 ℃；
3、升温速率：AS-master ：0.1 ℃~150 ℃/s ；
4、温度控制：快速数字PID控制；
5、热电偶：2个K型热电偶；
6、低温高温计温度范围：150℃~1100 ℃；
7、高温高温计温度范围：400℃~1500 ℃；
8、工艺气体气路配质量流量计（MFC）4路：氮气、氩气、混合气体、氧气；
9、配置分子泵及真空规，真空度达10-6hPa；
10、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；
11、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果；
12、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；
冷壁水冷技术优点在于：1、无记忆，2、工艺重复性高，3、冷却速度快；
13、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；
14.安装条件：Voltage : 3x400V+N+Gr
Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW
Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn
Compressed air : 6 bars (valve actuation)
Process gas fittings : double ferrule ¼ or VCR ¼ (option)
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
南通宏腾微电子技术有限公司
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江苏南通越江路88号
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