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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 6寸
温度范围： 1200度
最高升温速率： 160K/S
降温速率： 240K/S
退火温度准确性： 1%
退火温度均匀性： 1%
产地：法国AnnealSys；
型号：AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产，分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。
应用：
- 快速热退火 RTA；
- 快速热氧化 RTO；
- 扩散，接触退火；
- 化合物半导体退火；
- 氮化，硅化；
- 硒化，硫化；
- 石墨烯沉积，碳纳米管生长；
- 晶体化，致密化；
技术规格：
规格 | AS-ONE 100 | AS-ONE 150 |
最大样品基底直径 | 100mm (4英寸) | 150mm (6英寸) |
腔体尺寸 | 130mm直径 x 25mm | 200mm直径 x 25mm |
红外灯数量/最大功率 | 12支 / 30KW | 18支 / 34KW |
红外灯冷却方式 | 风扇 | 风扇 |
标准温度范围 | 室温 ~ 1250°C | 室温 ~ 1200°C |
选配高温版本范围 | 室温 ~ 1500°C | 室温 ~ 1300°C |
升温速度 | 0.1°C ~ 200°C/s | 0.1°C ~ 150°C/s |
温度控制 | 快速数字PID控制器 | 快速数字PID控制器 |
热电偶 | K型 | K型 |
高温计 | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C |
气体注入 | 石英视窗以下 | 石英视窗以下 |
清洗气路 | 标准配置 | 标准配置 |
工艺气路方式/数量 | MFC / 5路 | MFC / 5路 |
真空获得系统 | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) |
尺寸/重量 | 510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg | 510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg |
参考客户：
清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。
大尺寸样品快速退火炉
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；
Annealsys退火炉AS-ONE/AS-MICRO的工作原理介绍
退火炉AS-ONE/AS-MICRO的使用方法?
AnnealsysAS-ONE/AS-MICRO多少钱一台?
退火炉AS-ONE/AS-MICRO可以检测什么？
退火炉AS-ONE/AS-MICRO使用的注意事项？
AnnealsysAS-ONE/AS-MICRO的说明书有吗？
Annealsys退火炉AS-ONE/AS-MICRO的操作规程有吗？
Annealsys退火炉AS-ONE/AS-MICRO报价含票含运吗？
AnnealsysAS-ONE/AS-MICRO有现货吗？
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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